[发明专利]溅射靶的制造方法及溅射靶

说明书

溅射靶的制造方法，其包括下述工序：嵌入工序，以在背板材的框部的高度方向上、靶材的最上方位置高于背板材的框部的最上方位置的方式，将靶材嵌入至背板材的框部的内侧；以及接合工序，将靶材扩散接合于背板材。

技术领域

本发明涉及溅射靶的制造方法及溅射靶。

背景技术

以往，作为溅射靶的制造方法，有日本特开平9-143707号公报(专利文献1)中记载的方法。在该溅射靶的制造方法中，通过应用能赋予各向同性压力的热等静压(热等静压法：HIP(Hot Isostatic Press))，从而将靶材扩散接合于背板材，制造溅射靶。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-143707号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明的课题在于提供靶材与背板材的接合强度高的溅射靶的制造方法。

用于解决课题的手段

本发明的溅射靶的制造方法是将靶材扩散接合于具有环状框部的背板材而制造溅射靶的方法，所述制造方法包括下述工序：

嵌入工序，以在上述背板材的上述框部的高度方向上、上述靶材的最上方位置高于上述背板材的上述框部的最上方位置的方式，将上述靶材嵌入至上述背板材的上述框部的内侧；和

接合工序，将上述靶材扩散接合于上述背板材。

根据本发明的溅射靶的制造方法，以靶材的最上方位置高于背板材的框部的最上方位置的方式，将靶材嵌入至背板材的框部的内侧。然后，将靶材扩散接合于背板材。

由此，将靶材扩散接合于背板材时，例如利用热板一边从上方对靶材进行推压一边进行加热时，由于靶材的最上方位置高于背板材的框部的最上方位置，因而热板与靶材的最上方位置相接触。因此，能够利用热板对靶材施加充分的负荷，能够制作靶材与背板材的接合强度高的溅射靶。

溅射靶的制造方法的一个实施方式中，在上述接合工序中，利用热板一边沿单轴方向对上述靶材进行推压一边进行加热，从而将上述靶材扩散接合于上述背板材。

本实施方式中，上述“热板”在推压时位于靶材及背板材中的任一侧或两侧。以下，有时将推压时位于靶材侧的热板称为“上热板”、将推压时位于背板材侧的热板称为“下热板”。

该扩散接合可以如后述那样使用热压进行。

根据上述实施方式，由于可以使用热压，因此与热等静压法相比，接合所需的压力被降低，接合所需的时间被缩短，接合所需的成本被降低。

溅射靶的制造方法的一个实施方式中，在上述嵌入工序中，使上述靶材的最上方位置与上述背板材的上述框部的最上方位置之间的高低差相对于上述靶材的厚度而言为1％以上。

根据上述实施方式，使靶材的最上方位置与背板材的框部的最上方位置之间的高低差相对于靶材的厚度而言为1％以上。由此，当利用热板一边沿单轴方向对靶材进行推压一边进行加热而将靶材扩散接合于背板材时，能够增强靶材与背板材的接合强度。

溅射靶的制造方法的一个实施方式中，上述靶材的材料为Al或Al合金，优选为Al。

根据上述实施方式，由于靶材的材料为Al或Al合金，因而靶材的硬度小。因此，当利用热板一边沿单轴方向对靶材进行推压一边进行加热时，靶材容易被挤压变形，能够消除靶材与背板材之间的间隙，在接合时提高密合性。因此，能够增强靶材与背板材的接合强度。

溅射靶的制造方法的一个实施方式中，上述背板材的材料为选自Al、Cu、Ti、Mo、W、Ta、Nb、Fe及它们的合金中的1种以上的材料，优选为选自Al、Cu及它们的合金中的1种以上的材料。