[发明专利]带透明导电层的基板和液晶面板

说明书

本发明提供带有电阻随时间产生的变化少的透明导电层的基板、液晶面板、以及带透明导电层的基板的制造方法。作为本发明的一个方式所涉及的带透明导电层的基板，具有基板和透明导电层。提供一种所述透明导电层设置在所述基板上、且含有氧化铌、氧化钽以及氧化锑中的至少任一个和氧化锡的带透明导电层的基板。由此，在该带透明导电层的基板中，电阻随时间产生的变化变少。

技术领域

本发明涉及带透明导电层的基板、液晶面板、以及带透明导电层的基板的制造方法。

背景技术

采用了使液晶面板基板产生水平方向成分的电场来驱动液晶的所谓的横向电场驱动方式(IPS(In-Plane Switching：共面转换)方式或FFS(Fringe Field Switching：边缘场转换)方式)的In-cell型的液晶面板具有如下的结构。例如，该结构具有彩色滤光片基板、对置基板以及设置在这些基板之间的液晶，其中，所述对置基板具有对液晶进行驱动的液晶驱动用电子电路和对手指触摸进行感测的感测传感器用电极。

在这种液晶面板中，在彩色滤光片基板未形成电极，彩色滤光片会带电而产生显示动作的误工作。为了防止这种带电，存在以下技术：在未形成彩色滤光片的彩色滤光片基板的面，设置将高电阻的氧化铟锡作为主要材料并含有硅的透明导电层(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5855948号公报。

发明内容

发明要解决的课题

然而，将氧化铟锡作为主成分并含有硅的透明导电层在其表面会露出氧化铟锡。因此，该透明导电层的耐候性或耐药品性差，其电阻容易随着时间而变化。

鉴于上述情况，本发明的目的在于，提供一种带有电阻随时间产生的变化少的透明导电层的基板、液晶面板、以及带透明导电层的基板的制造方法。

用于解决课题的方案

为了达成上述目的，本发明的一个方式所涉及的带透明导电层的基板具有基板和透明导电层。

所述透明导电层设置在所述基板上，含有氧化铌、氧化钽以及氧化锑中的至少任一个和氧化锡。

由此，在该带透明导电层的基板中，电阻随时间产生的变化变少。

在上述的带透明导电层的基板中，所述氧化铌、所述氧化钽以及所述氧化锑中的至少任一个的含有率也可以在所述透明导电层中为5wt％以上且15％wt以下。

由此，在该带透明导电层的基板中，氧化物难以被还原，维持了透明导电层的高电阻状态。

在上述的带透明导电层的基板中，所述透明导电层的方块电阻也可以为1×10⁷(Ω/sq.)以上且1×10¹⁰(Ω/sq.)以下。

所述透明导电层的透射率也可以在波长550nm时为98.5％以上。

通过将这种带有高光透射率的透明导电层的基板用于In-cell型的液晶面板，抑制了彩色滤光片的带电，而且液晶面板的光透射率不会显著减少。

在上述的带透明导电层的基板中，所述透明导电层的厚度也可以为 5nm以上且15nm以下。

由此，在该带透明导电层的基板中，在基板上设置具有适当的电阻和透射率的透明导电层。

在上述的带透明导电层的基板中，所述透明导电层也可以含有氮。

由此，在该带透明导电层的基板中，透明导电层的电阻通过氮的添加量来调节。

在上述的带透明导电层的基板中，所述基板也可以具有透明基板和彩色滤光片。