[实用新型]沉积成膜装置

说明书

本实用新型涉及一种沉积成膜装置。上述的沉积成膜装置包括成膜腔室、主排气管道与前级真空计；沉积成膜装置还包括旁路排气管道与粒子计数装置；主排气管道设置真空阀与蝶阀，主排气管道的一端与成膜腔室连通，主排气管道的另一端设置连接位，连接位用于连接干式真空泵；旁路排气管道设置旁路排气阀，旁路排气管道的一端与成膜腔室连通且设置于成膜腔室的底部，旁路排气管道的另一端连接主排气管道，且旁路排气管道的另一端位于蝶阀与连接位之间；上述的沉积成膜装置提高了整个成膜腔室的洁净度，使得成膜腔室的洁净度明确并可控，保证了成膜质量，提高了良品率，提高了生产效率。

技术领域

本实用新型涉及薄膜技术领域，特别是涉及一种沉积成膜装置。

背景技术

传统的沉积成膜装置没有标准能够判断成膜腔室的清洁是否彻底干净，主要原因是腔室内的颗粒物太多，没有达到要求的洁净度，这样影响了生产。另外在成膜腔室的下部有很大的空间在远程清洁过程中不能保证清洁的到位，这使得成膜腔室的下部空间具有存在异物的隐患，这样降低了产品的质量。

实用新型内容

基于此，有必要针对成膜腔室的下部空间的清洁不到位以及难以判断成膜腔室的洁净度的问题，提供一种沉积成膜装置。

一种沉积成膜装置，包括成膜腔室、主排气管道与前级真空计，其特征在于，所述沉积成膜装置还包括旁路排气管道与粒子计数装置；

所述主排气管道设置真空阀与蝶阀，所述主排气管道的一端与所述成膜腔室连通，所述主排气管道的另一端设置连接位，所述连接位用于连接干式真空泵；

所述旁路排气管道设置旁路排气阀，所述旁路排气管道的一端与所述成膜腔室连通且设置于所述成膜腔室的底部，所述旁路排气管道的另一端连接所述主排气管道，且所述旁路排气管道的另一端位于所述蝶阀与所述连接位之间；

所述前级真空计连接于所述旁路排气管道的另一端与所述连接位之间；

所述粒子计数装置连接于所述主排气管道的一端与所述真空阀之间。

在其中一个实施例中，所述粒子计数装置用于连接所述干式真空泵并与所述干式真空泵联动设置。

在其中一个实施例中，所述粒子计数装置设置有延时启动组件，用于在所述干式真空泵启动之后延时第一预设时间再启动所述粒子计数装置。

在其中一个实施例中，所述粒子计数装置设置有启动装置，所述启动装置用于在达到预设真空度时启动所述粒子计数装置。

在其中一个实施例中，所述沉积成膜装置还设置有报警装置，所述报警装置与所述粒子计数装置连接，还用于与所述干式真空泵连接，所述报警装置用于在所述干式真空泵运行超过第二预设时间且所述粒子计数装置的计数值大于设定值时进行报警。

在其中一个实施例中，所述沉积成膜装置还设置有发送装置，所述发送装置与所述报警装置连接，用于在所述报警装置进行报警时发送远程报警信号。

在其中一个实施例中，所述沉积成膜装置中的所述旁路排气管道的数量为多个。

在其中一个实施例中，所述主排气管道还设置主路排气阀，所述主路排气阀位于所述前级真空计的连接位置与所述连接位之间。

在其中一个实施例中，所述沉积成膜装置还包括所述干式真空泵。

在其中一个实施例中，所述沉积成膜装置为等离子体增强化学气相沉积装置。