[实用新型]改进蒸发舟有效
| 申请号： | 201721920906.0 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN208104520U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 严佐毅;刘文卿;张龙;张丽 | 申请（专利权）人： | 安徽金美新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 李鑫 |
| 地址： | 安徽省淮南市寿县新桥国际产业园新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发舟 复合涂层 钨舟 钼舟 金属溶液滴 改进 多层结构 金属溶液 顺序组合 容置槽 凹坑 涂覆 舟体 变形 腐蚀 | ||
【权利要求书】：
1.改进蒸发舟，其特征在于，所述蒸发舟包括容置槽(1)，所述蒸发舟为钼舟或钨舟中的一种，所述蒸发舟包括本体(12)，所述本体(12)下部涂有防护层(11)，所述本体(12)上部涂有复合层(13)，所述复合层(13)由若干材料按顺序叠加而成。
2.根据权利要求1所述的改进蒸发舟，其特征在于，所述容置槽(1)左右两端对称连接有连接板(2)。
3.根据权利要求2所述的改进蒸发舟，其特征在于，所述连接板(2)外侧连接有延伸支架板(3)。
4.根据权利要求1所述的改进蒸发舟，其特征在于，所述复合层厚度为A，其中100μm≤A≤1mm。
5.根据权利要求4所述的改进蒸发舟，其特征在于，所述复合层包括N层叠加，其中2≤N≤4，所述复合层(13)中的每一层为氮化硼、氧化锆、WB2、TiB2、ZrB2、NbB2、HfB2、TaB2、TiC、ZrC、NbC、HfC和/或TaC。
6.根据权利要求1所述的改进蒸发舟，其特征在于，所述防护层(11)为碳化钼和硼化钨中的一种。
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