[实用新型]石墨舟装片机构

说明书

本实用新型公开了一种石墨舟装片机构，包括四个硅片运载轨道、硅片缓存机构、六轴机械手、吸盘组件，所述硅片运载轨道的数量为四个，所述六轴机械手的底座到外侧的两个硅片运载轨道的距离相等，位于外侧的两个硅片运载轨道上的硅片缓存机构可延硅片运载轨道方向前后移动设置。当需要运载外侧硅片运载轨道上的硅片时，丝杠将硅片缓存机构上的收料盒推出，缩短收料盒和六轴机械手的距离，当取片完成，收料盒归位，不阻碍机械手的运动。从而提高整体的工作效率，减少设备占地体积，且本实用新型可以实现硅片装载进入石墨舟的自动化运动，减少人工。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体涉及一种石墨舟装片机构。

背景技术

目前在使用太阳能硅片制绒、刻蚀、扩散等机对太阳能硅片进行处理的过程中，上下料台往往需要通过人工进行，将一叠硅片通过人工或机械的方式导入花篮中，然后人工将花篮转移至上料台上，花篮中经过处理工艺后，将被传送至下料台，然后人工转移至下料导片机。

这个过程一般依赖人工，导致产能低的同时，人工操作过程中容易损坏硅片以及对硅片造成污染。而现有的上料导片机及下料导片机通常是吸盘式的，吸盘可以固定在一个六轴机械手上，六轴机械手行程方式复杂，且六轴机械手量程有限，因此一个六轴机械手一般可以同时运载两到三个硅片运载轨道上的硅片，效率较低。若要增加轨道数量，则需要增加六轴机械手的量程，成本增加。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种布局合理，可以提高六轴机械手效率的石墨舟装片机构。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：一种石墨舟装片机构，包括四个硅片运载轨道，每个硅片运载轨道的一端设置有硅片缓存机构，且伸入该硅片缓存机构中将硅片运载至硅片缓存机构中，硅片运载轨道的端部外侧还设置与之垂直的石墨舟轨道以及石墨舟，在石墨舟轨道的外侧还设置有一个六轴机械手，六轴机械手的端部设有吸盘组件，所述硅片运载轨道互相平行且端部对齐，所述六轴机械手的底座到外侧的两个硅片运载轨道的距离相等，其到内侧的两个硅片运载轨道的距离也相同，硅片缓存机构内设置有个多个硅片槽用于放置硅片，所述吸盘组件上设置与若干个吸盘，吸盘的间距与硅片缓存机构内的硅片槽的间距相同，且吸盘可伸入硅片槽中用于吸附硅片，位于外侧的两个硅片运载轨道上的硅片缓存机构可延硅片运载轨道方向前后移动设置。

进一步的，位于外侧两个硅片运载轨道上的硅片缓存机构包括竖直导轨以及可在竖直导轨上进行上下滑动的底座，在底座上设置有水平滑轨以及收料盒，收料盒可在丝杠作用下沿水平滑轨滑动，收料盒中设置有硅片槽用于缓存硅片。

从上述技术方案可以看出本实用新型具有以下优点：六轴机械手的最大量程可以为其到内侧两个硅片运载轨道的距离，当需要运载外侧硅片运载轨道上的硅片时，丝杠将硅片缓存机构上的收料盒推出，缩短收料盒和六轴机械手的距离，当取片完成，收料盒归位，不阻碍机械手的运动，且布局合理，从而提高整体的工作效率，减少设备占地体积。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的俯视图；

图3为本实用新型中硅片缓存机构的结构示意图；

图4为本实用新型中限位机构的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细说明。