[实用新型]一种探测器面板有效
| 申请号: | 201721918158.2 | 申请日: | 2017-12-29 |
| 公开(公告)号: | CN207851315U | 公开(公告)日: | 2018-09-11 |
| 发明(设计)人: | 程丙勋;周作兴;金利波 | 申请(专利权)人: | 上海奕瑞光电子科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01T7/00 | 分类号: | G01T7/00;G01T1/20 |
| 代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
| 地址: | 201201 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 探测器面板 反射膜层 感光像素阵列 非晶硅 吸收 本实用新型 玻璃基板 玻璃基板表面 探测器检测 可见光 反射作用 相邻像素 像素阵列 反射光 透射光 发散 反射 图像 传输 | ||
1.一种探测器面板,其特征在于,所述探测器面板至少包括:玻璃基板、形成于所述玻璃基板表面的反射膜层、以及形成于所述反射膜层表面的TFT非晶硅感光像素阵列;从所述TFT非晶硅感光像素阵列透过的可见光,通过所述反射膜层的反射作用,由所述TFT非晶硅感光像素阵列重新吸收。
2.根据权利要求1所述的探测器面板,其特征在于:所述反射膜层包括形成于所述玻璃基板表面的金属反射层和形成于所述金属反射层表面的绝缘层。
3.根据权利要求2所述的探测器面板,其特征在于:所述金属反射层的厚度介于几纳米至1μm之间。
4.根据权利要求3所述的探测器面板,其特征在于:所述金属反射层的厚度介于10~500nm之间。
5.根据权利要求2所述的探测器面板,其特征在于:所述金属反射层的材质包括Al、Ag、Cu中的一种或多种的组合。
6.根据权利要求2所述的探测器面板,其特征在于:所述绝缘层的厚度介于10~1000nm之间。
7.根据权利要求2所述的探测器面板,其特征在于:所述绝缘层包括氮化硅或者氧化硅。
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