[实用新型]SC石英晶棒X光定向粘板机

说明书

本实用新型涉及一种SC石英晶棒X光定向粘板机，包括粘板机台面，粘板机台面上设有粘板夹具组合、第一X光射线管、第一计数管、显示板；粘板夹具组合设有旋转工作台，旋转工作台连接固定夹具大托板，夹具大托板的中心处设置料板；料板的两侧均设置晶棒紧固夹具。本实用新型使晶棒经两次旋转定向、两次定位，即可将完成定向的晶棒粘接固定，避免了现有技术中两次粘接中间工步较多、效率较低的弊病，可提高生产效率，降低各工步的累计误差，同时提高晶棒的利用率。

技术领域

本实用新型涉及石英晶片的加工装置，具体是一种SC石英晶棒X光定向粘板机。

背景技术

随着电子技术的发展，对精密石英晶体元件的老化率、短期稳定度、耐冲击和耐辐射等提出了更高的要求；而SC切型具有老化小、相位噪声低、短期频率稳定性好、热滞效应小及开机特性好等优点，所以现在对SC切型的晶片需求量增大；SC切石英晶片的常规的加工工艺方法是分两次定向粘结切割，加工过程中工步较多，晶片的生产效率低且精度不稳定。现有的两次粘结定向切割方法严重制约了双转角切片的加工效率，这是一个急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种SC石英晶棒X光定向粘板机，能够避免现有技术中两次粘接中间工步较多、效率较低的弊病，可提高生产效率、降低各工步的累计误差，同时将晶棒的利用率提高。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种SC石英晶棒X光定向粘板机，包括粘板机台面，粘板机台面上设有粘板夹具组合；所述的粘板夹具组合的两侧分别设有第一X光射线管、第一计数管；粘板夹具组合的上方设有显示板；粘板夹具组合顶部两侧分别设有第二X光射线管、第二计数管；粘板夹具组合设有旋转工作台，旋转工作台连接固定夹具大托板，夹具大托板作为其他部件的连接基础，夹具大托板的中心处设置料板；料板通过滑动导轨与夹具大托板连接固定；料板的两侧均设置晶棒紧固夹具，料板一侧的晶棒紧固夹具通过燕尾导轨座、燕尾滑块与夹具大托板连接，燕尾导轨座、燕尾滑块通过燕尾调节板调整位置；料板另一侧的晶棒紧固夹具通过支撑滑块、支撑导轨与夹具大托板连接固定，上下定位螺钉固定支撑滑块的位置。

两次定向时需对两个原子面进行检测，所以粘板机有两套X光定向系统，晶棒的两次旋转定向可在一台设备上完成。在粘板机上两套定向系统并不在一个平面上且成一定的角度。

夹具也分两次定位，第一次旋转定向时调节定位螺钉找到最大峰值后紧固调节螺栓，可将晶棒X面与料板定位边的夹角固定；第二次旋转定向时用机械式的分度盘将晶棒与夹具一起沿着一个固定轴旋转，到X光定向仪峰值最大后可将Z面与料板的倾斜固定，完成定向的晶棒粘接固定。

采用上述技术方案的本实用新型，与现有技术相比，有益效果是：

①晶棒一次粘板定位工艺，避免了现有技术中两次粘接中间工步较多，效率较低的弊病，可提高生产效率；

②一次粘板定位工艺，减少了中间工步，降低各工步的累计误差；

③一次粘板定位工艺，减少了中间工步，提高晶棒的利用率。

进一步的，本实用新型优选方案如下：

所述的大托板在料板的一侧设有料板基准弯板，料板基准弯板与滑动导轨共同限定料板。

所述的支撑滑块设有旋转定位板，旋转定位板对晶棒紧固夹具的固定位置进行限定。

附图说明

图1是SC切晶棒旋转切片方位示意；

图2是X光定向粘板机的示意图；

图3是粘板夹具组合示意图；

图4是图3的俯视图；