[实用新型]介质阻挡放电离子源

说明书

本实用新型提供了一种介质阻挡放电离子源，所述介质阻挡放电离子源包括加热管、控温装置；辐射测温装置，所述介质阻挡放电离子源的离子化区域处于所述辐射测温装置的视场内；所述控温装置的输入端连接所述辐射测温装置。本实用新型具有测温准确、离子化效果好等优点。

技术领域

本实用新型涉及离子源，特别涉及介质阻挡放电离子源。

背景技术

介质阻挡放电离子源采用氦气/氮气等作为放电气体，气体通过中空的陶瓷加热管加热到适当温度后进入绝缘介质管内部，在高压电极的作用下，放电气体被电离形成稳定的离子束。

为了提高离子束对不同样品的热解析能力，需要精准控制喷射出的等离子体气体在样品处的温度。现有测温技术，通过测量加热装置的温度，间接推测管内放电气体的温度，无法获取准确的样品处温度。另外，现在测温技术一般使用热电偶等接触式测温元件，容易受到高压放电干扰，抗电磁干扰能力较差。

实用新型内容

为解决上述现有技术方案中的不足，本实用新型提供了一种测温精确、快速、分辨率高的介质阻挡放电离子源。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种介质阻挡放电离子源，所述介质阻挡放电离子源包括加热管、控温装置；所述介质阻挡放电离子源进一步包括：

辐射测温装置，所述介质阻挡放电离子源的离子化区域处于所述辐射测温装置的视场内；

所述控温装置的输入端连接所述辐射测温装置。

与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果为：

1.非接触式测温。

离子源喷射出的离子束带有高压电荷时，传统的接触式热电偶等测量方式将无法使用，非接触式红外成像测温方式不受影响，而且不会影响被测离子束和待测样品的温度分布。

2.测温响应速度快。

热电偶和热电阻等测温元件，要求与被测目标达到热平衡，而这个热平衡过程往往时间较长。红外成像测温方式，接收被测目标辐射能量波，能量波的传输速度为光速，测温响应速度仅取决于成像系统自身响应速度，可以实现微秒级的测温速度。

3.空间分辨率高。

接触式测温方式仅能实现单点或几个接触点的温度测量，获取的被测目标温度信息较少。红外成像测温方式，采用面阵成像方式，可以快速获取目标温度场，可用的目标温度信息更丰富。。

附图说明

参照附图，本实用新型的公开内容将变得更易理解。本领域技术人员容易理解的是：这些附图仅仅用于举例说明本实用新型的技术方案，而并非意在对本实用新型的保护范围构成限制。图中：

图1是根据本实用新型实施例的介质阻挡放电离子源的结构简图。

具体实施方式

图1和以下说明描述了本实用新型的可选实施方式以教导本领域技术人员如何实施和再现本实用新型。为了教导本实用新型技术方案，已简化或省略了一些常规方面。本领域技术人员应该理解源自这些实施方式的变型或替换将在本实用新型的范围内。本领域技术人员应该理解下述特征能够以各种方式组合以形成本实用新型的多个变型。由此，本实用新型并不局限于下述可选实施方式，而仅由权利要求和它们的等同物限定。

实施例：

图1示意性地给出了本实用新型实施例的介质阻挡放电离子源的结构简图，如图1所示，所述介质阻挡放电离子源包括：

进气管，所述进气管的一端与加热管的一端连接，将氦气/氮气等气体导入到加热管内；

加热管，所述加热管具有加热期间，如电热丝等；