[实用新型]一种束流准直器装置有效
| 申请号： | 201721904190.5 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN207718842U | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 丁开忠;姚凯;陈永华;吴昱城;蔡雅倩;胡乐星;连欢;李君君 | 申请（专利权）人： | 合肥中科离子医学技术装备有限公司 |
| 主分类号： | G21K1/02 | 分类号： | G21K1/02 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 准直 束流 准直器装置 真空腔 本实用新型 航空插头 准直器 串口服务器 高稳定性 线性导向 用户提供 真空连接 支撑平台 导向槽 绝缘块 上位机 滑动 漏率 竖直 台皮 支撑 紧凑 | ||
1.一种束流准直器装置，包括安装在高度支撑平台(2)上的准直器(1)，其特征在于，所述准直器(1)的真空腔(3)内安装有准直块(4)、准直块支撑(5)、航空插头(7)、绝缘块(6)；
所述真空腔(3)前后端与束流线进行真空连接，其整体漏率小于1.0×10-11Pa·m3/s；
所述准直块(4)包括水平方向和竖直方向各一对；
所述准直块支撑(5)上设有线性导向槽，并将四个所述准直块分别固定在真空腔内，准直块沿着导向槽滑动；
四个准直块(4)经航空插头(7)接入四台皮安表，皮安表通过串口服务器汇总连接到上位机。
2.根据权利要求1所述的一种束流准直器装置，其特征在于，所述准直器(1)通过高度支撑平台(2)作支撑，支撑平台在水平和垂直方向可微调。
3.根据权利要求1所述的一种束流准直器装置，其特征在于，所述准直块选用钨、钽，其尺寸沿束流方向显著大于束流粒子的射程。
4.根据权利要求1所述的一种束流准直器装置，其特征在于，所述准直块在准直块支撑(5)上进行位置调节，实现水平和竖直两个方向不同间隙的准直。
5.根据权利要求1所述的一种束流准直器装置，其特征在于，所述准直块支撑(5)是无磁材料设计，支撑上设计线性导向槽。
6.根据权利要求1所述的一种束流准直器装置，其特征在于，所述准直块(4)上的电流信号通过航空插头(7)引出，航空插头(7)与真空腔采用密封连接。
7.根据权利要求1所述的一种束流准直器装置，其特征在于，所述绝缘块(6)为低放气率绝缘材料。
8.根据权利要求1所述的一种束流准直器装置，其特征在于，四个准直块(4)的信号分别经航空插头(7)接入四台皮安表，皮安表的信号通过串口服务器汇总到上位机，在上位机中实现皮安表的设置、数据获取、数据处理和保存。
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