[实用新型]一种退火炉头部有效
申请号: | 201721902568.8 | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN207672158U | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
发明(设计)人: | 王德安;王宏安;周权 | 申请(专利权)人: | 洛阳晟源新材料有限公司 |
主分类号: | C30B33/02 | 分类号: | C30B33/02;H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 471000 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 第一电极 第二电极 退火炉 输送钢带 向下运动 移动柱 运动会 抵板 电铃 钢绳 蓄电池 本实用新型 电机减速机 串联电路 串联回路 头部滚筒 头部结构 头部卸料 向上运动 自重作用 矩形箱 校平辊 移动杆 滚筒 钢带 响声 松动 挤压 接通 | ||
本实用新型公开了一种退火炉头部,包括头部滚筒架和电机减速机,此退火炉头部结构简单,通过加入第一电极片和矩形箱等结构,在第一电极片、第二电极片、蓄电池和电铃组成的一条串联回路下,当输送钢带由于松动在自重作用下向下运动时,输送钢带的运动就会挤压移动柱向下运动,移动柱的运动会拉动钢绳的运动,钢绳的运动会使抵板向上运动,抵板的运动会推着移动杆带着第一电极片向第二电极片的方向运动,当第一电极片和第二电极片接触后,串联电路接通,电铃发出响声,提醒工作人员需要调整钢带校平辊和头部卸料滚筒之间的距离,因此该装置能够达到及时提醒工作人员的效果。
技术领域
本实用新型涉及退火炉技术领域,具体为一种退火炉头部。
背景技术
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其性能。热处理是针对不同的效果而设计的。在退火炉的实际使用过程,钢带转动时间过久就容易松动,所以针对这种情况增加了托辊调整装置,可以根据钢带的实际使用情况调整其间隙。但是在现有技术中,判断钢带是否松动只能根据人为主观的判断,也就无法及时做到调整,如果松动的钢带继续被使用,那么钢带的寿命就会大大缩短。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种退火炉头部,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种退火炉头部,包括头部滚筒架和电机减速机,所述电机减速机通过三角架固定连接在头部滚筒架上,所述电机减速机通过联轴器连接有小链轮,且小链轮上啮合有传动链条,所述传动链条传动连接有大链轮,所述大链轮的中部固定插接有滑块带座轴承,且滑块带座轴承的两端转动连接在头部滚筒架上,所述大链轮上固定套接有头部卸料滚筒,且头部卸料滚筒远离电机减速机的一端活动插接有防尘罩,防尘罩与头部滚筒架相互靠近的一侧固定连接,所述头部卸料滚筒位于防尘罩内的一段上滑动连接有输送钢带,且输送钢带与卸料溜槽滑动连接,所述卸料溜槽固定插接在防尘罩上,卸料溜槽的另一端延伸到头部滚筒架外,所述卸料溜槽与头部滚筒架相互靠接的一端通过螺钉螺纹连接,螺孔开设在卸料溜槽上,所述输送钢带的下端抵触连接有钢带校平辊,且钢带校平辊的中部固定插接有旋转杆,旋转杆的两端均连接在调整块上,两个所述调整块均通过第一连接杆固定连接在头部滚筒架上,所述钢带校平辊的后端设置有托辊调整装置,且托辊调整装置通过第二移动杆固定连接在头部滚筒架上;
托辊调整装置包括移动柱,所述移动柱活动插接在托辊调整装置上,且移动柱的下端延伸到孔腔内并连接有第一弹簧的一端,第一弹簧的另一端连接在孔腔的底壁上,所述孔腔开设在托辊调整装置上,所述移动柱的下端连接有钢绳的一端,且钢绳的另一端绕过定滑轮连接在抵板的上端,所述定滑轮转动连接在孔腔的顶壁上,所述抵板的下端开设有凹槽,且凹槽内设置有限位杆,所述限位杆的下端固定连接在孔腔的底壁上,所述抵板的上端抵触连接有移动杆,且移动杆的另一端活动贯穿挡板并连接有第一电极片,所述移动杆上缠绕有第二弹簧,且第二弹簧的两端分别连接在移动杆的侧壁上和挡板的侧壁上,所述挡板的上端固定连接在孔腔的顶壁上,且孔腔的侧壁连接有与第一电极片相匹配的第二电极片,所述孔腔的底壁连接有矩形箱,且矩形箱内设置有蓄电池和电铃。
优选的,所述移动柱远离定滑轮的一端与孔腔靠近的侧壁滑动连接。
优选的,所述限位杆与凹槽相互靠近的一侧滑动连接。
优选的,所述抵板的上端呈梯形结构。
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