[实用新型]一种圆晶测试系统有效
申请号: | 201721898763.8 | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN207717920U | 公开(公告)日: | 2018-08-10 |
发明(设计)人: | 游诗勇 | 申请(专利权)人: | 福建福顺半导体制造有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 350000 福建省福州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测试机 测试通道控制 探针台 主控器 本实用新型 测试系统 继电器驱动信号 驱动器 控制继电器 闭合 测试通道 测试效率 连接接口 驱动信号 主控制器 单片机 传送 测试 应用 | ||
本实用新型实施例提供了一种圆晶测试系统,包括:主控制器、测试机、探针台、测试通道控制模块;所述主控器分别与所述测试机、所述探针台相连以及所述测试通道控制模块相连,所述主控器为单片机,所述主控器分别与所述测试机通过连接接口进行连接,控制所述测试机并接收所述测试机的测试结果,并将测试结果传送至所述探针台;测试通道控制模块通过驱动器发出继电器驱动信号,通过控制继电器的驱动信号进行测试通道的闭合选择。应用本实用新型,可以同时测试多颗器件,提高器件的测试效率。
技术领域
本实用新型涉及器件测试技术领域,特别是涉及一种圆晶测试系统。
背景技术
圆晶(Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片,由于其形状为圆形,故称为圆晶。圆晶是生产集成电路所用的载体,一般意义晶圆多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒,单晶硅棒经过抛光、切片之后,就成为了圆晶。
目前分立器件类产品用JUNO分立器件测试系统在P8探针台测试。由于JUNO分立器件测试系统不能支持多颗同时测试,测试效率低。
因此,有必要提供一种新的圆晶测试系统解决上述技术问题。
实用新型内容
本实用新型实施例的目的在于提供一种圆晶测试系统,以解决现有技术中器件不支持多颗测试,测试效率低的问题,旨在提高器件的测试效率。具体技术方案如下:
为达到上述目的,本实用新型实施例提供了一种圆晶测试系统,主控制器、测试机、探针台、测试通道控制模块;
所述主控器分别与所述测试机、所述探针台相连以及所述测试通道控制模块相连,所述主控器为单片机,所述主控器分别与所述测试机通过连接接口进行连接,控制所述测试机并接收所述测试机的测试结果,并将测试结果传送至所述探针台;
测试通道控制模块通过驱动器发出继电器驱动信号,通过控制继电器的驱动信号进行测试通道的闭合选择。
本实用新型的优选实施方式中,所述测试通道控制模块的电路包括:开关W1、开关W2、开关W3和开关W4,连接接口(P10)、驱动器(U1)、第一组继电器、第二组继电器、第三组继电器和第四组继电器;
所述单片机分别通过所述的开关W1、开关W2、开关W3和开关W4与所述连接接口(P10) 相连,通过所述连接接口(P10)将继电器的驱动信号发送至驱动器(U1)、并通过所述驱动器(U1)输出的信号控制所述的第一组继电器、第二组继电器、第三组继电器和第四组继电器对应的测试通道的通和断,其中,所述驱动器(U1)为ULN2003。
本实用新型的优选实施方式中,所述的第一组继电器、第二组继电器、第三组继电器和第四组继电器分别包括四个继电器。
本实用新型的优选实施方式中,所述主控器通过发送信号至所述探针台用于控制所述探针台走动,在接收探针台准备好的信号后将测试结果传送至所述探针台。
本实用新型的优选实施方式中,所述单片机的型号为:STC11F02C。
本实用新型的优选实施方式中,所述单片机的晶振信号为12MHz。
本实用新型的优选实施方式中,还包括稳压电路,所述稳压电路通过稳压芯片(U2)将 12V电压转化为5V电压,其中,所述稳压芯片(U2)的型号为:UZ1084。
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