[实用新型]一种三T型OLED蒸镀线源

说明书

本实用新型涉及一种三T型OLED蒸镀线源，其包括：三个坩埚，其等间距设置成一排，内部分别装有蒸镀有机材料；三个气流平衡管，每个气流平衡管分别与一个坩埚相连；每个气流平衡管的顶部分别设有多个喷嘴，所有的所述喷嘴排列为一排。本实用新型的三T型OLED蒸镀线源设计了3只坩埚，它们分别装填料，密封面积小，装、填方便。它们分别对应线源喷嘴的左、中、右部分，并各自控制左中右的速率，易于控制。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种三T型OLED蒸镀线源。

背景技术

现有的量产蒸镀设备的线源多为“一字型”，顾名思义，一字型线源即一种外形近似汉字“一”的线性蒸发源。如图1所示，传统一字型线源的有机材是通过线源主体2顶端的一排水平间隔排布的喷嘴1喷出。一字型线源也可以近似理解为一个长方体，长方体内部添加有机材料，顶端有一排水平间隔排布的喷嘴，当长方体侧壁被加热时，内部有机材料即气化而从顶端喷嘴处喷出，并最终在基板上沉积成膜。

虽然一字型线源目前应用很广泛，但是一字型线源由于自身结构限制，存在一些缺点。其中，装、退材料困难及系统惯性大速率难于控制两个缺点尤为致命。前者因为一字型线源内部都有一支长条形内坩埚，向内坩埚装填材料时，很难做到水平方向的均匀。加入材料后需要做端面密封将内坩埚封闭在线源内，这一过程非常繁琐，且有一定难度。而“系统惯性大速率难于控制”是由于一字型线源全部材料都是平铺在一字长条形内坩埚中，而内坩埚的侧面几乎都在加热丝的辐射范围内。所以升温降温都很难控制，因此说其系统惯性大，速率控制困难。

日本ULVAC和韩国SFA公司都申请了一字线源的专利，但是他们提供的线源在实际使用中均存在上述问题。

实用新型内容

本实用新型要解决现有技术中的技术问题，提供一种三T型OLED蒸镀线源。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案具体如下：

一种三T型OLED蒸镀线源，包括：

三个坩埚，其等间距设置成一排，内部分别装有蒸镀有机材料；

三个气流平衡管，每个气流平衡管分别与一个坩埚相连；每个气流平衡管的顶部分别设有多个喷嘴，所有的所述喷嘴排列为一排。

在上述技术方案中，中间的气流平衡管上的多个喷嘴的间距大于两侧的气流平衡管上的多个喷嘴的间距。

在上述技术方案中，每个所述气流平衡管的外围设有平衡管加热丝。

在上述技术方案中，每个所述喷嘴的外围设有喷嘴加热丝。

在上述技术方案中，每个所述坩埚的外围设有坩埚加热丝。

在上述技术方案中，每个所述气流平衡管的中部设有与所述坩埚的顶端相连的竖直管状结构。

在上述技术方案中，所述竖直管状结构的直径大于所述坩埚的直径。

本实用新型具有以下的有益效果：

本实用新型的三T型OLED蒸镀线源设计了3只坩埚，它们分别装填料，密封面积小，装、填方便。它们分别对应线源喷嘴的左、中、右部分，并各自控制左中右的速率，易于控制。

本实用新型的三T型OLED蒸镀线源，有机材料装填方便；避免有机材料漏料，方便维护；易于控制，膜厚均匀性好、重复性高。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。

图1为现有技术中的“一字型”线源的结构示意图。

图2为本实用新型的三T型OLED蒸镀线源的主视结构示意图。