[实用新型]一种L型OLED蒸镀线源有效
| 申请号： | 201721897215.3 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN207699659U | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 林文晶;彭勃 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 201506 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 气流平衡管 速率控制 加热丝 桶状 线源 蒸镀 本实用新型 有机材料 喷嘴 材料蒸汽 系统惯性 蒸气导管 蒸汽导管 喷嘴喷 平衡管 上端 装填 开度 固化 加热 蒸汽 堆积 精细 | ||
【权利要求书】：
1.一种L型OLED蒸镀线源，其特征在于，包括：
桶状坩埚(5)，其内装填有机材料；
气流平衡管(3)，其与所述桶状坩埚(5)的上端通过蒸汽导管相连；
多个喷嘴(1)，其排成一排设置在所述气流平衡管(3)的顶端；
所述桶状坩埚(5)内的有机材料被加热后成为分子蒸汽，然后由所述气流平衡管(3)上的多个喷嘴(1)喷出。
2.根据权利要求1所述的L型OLED蒸镀线源，其特征在于，所述喷嘴(1)的间距从靠近所述桶状坩埚(5)的一端到远离所述桶状坩埚(5)的一端逐渐减小。
3.根据权利要求2所述的L型OLED蒸镀线源，其特征在于，所述喷嘴(1)的间距从靠近所述桶状坩埚(5)的一端到远离所述桶状坩埚(5)的一端，依次以90％的比例减小。
4.根据权利要求1所述的L型OLED蒸镀线源，其特征在于，所述桶状坩埚(5)的外围设有坩埚加热丝。
5.根据权利要求1所述的L型OLED蒸镀线源，其特征在于，所述气流平衡管(3)的外围设有加热丝。
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