[实用新型]一种设有反射罩的OLED蒸镀线源有效
| 申请号： | 201721896812.4 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN207699658U | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 林文晶;彭勃 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 201506 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 线源 反射罩 蒸镀 喷嘴 本实用新型 扫描方向 垂直 外围 膜厚均匀性 高解析度 阴影效应 有效控制 可控性 制备 | ||
【权利要求书】：
1.一种设有反射罩的OLED蒸镀线源，其特征在于，包括：线源主体(2)；
所述线源主体(2)在垂直于扫描方向上设置有排成一排的多个喷嘴(1)；
在多个喷嘴(1)外围设有高度高于喷嘴(1)的反射罩(3)。
2.根据权利要求1所述的设有反射罩的OLED蒸镀线源，其特征在于，所述反射罩(3)外围设有反射罩加热丝(5)。
3.根据权利要求1所述的设有反射罩的OLED蒸镀线源，其特征在于，所述线源主体(2)外围设有主体加热丝(4)。
4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的设有反射罩的OLED蒸镀线源，其特征在于，所述反射罩(3)的高度是所述喷嘴(1)高度的120～400％。
5.根据权利要求1～3中的任意一项所述的设有反射罩的OLED蒸镀线源，其特征在于，排成一排的多个所述喷嘴(1)的排列间距满足：
靠近中部的占总数50％的喷嘴(1)的间距，是两侧的喷嘴(1)的120～180％。
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