[实用新型]基于MEMS电容式微加速度计的传感器和航姿仪

说明书

本实用新型公开了一种基于MEMS电容式微加速度计的传感器和航姿仪，该基于MEMS电容式微加速度计的传感器包括：基座；多个设置在所述基座上的MEMS电容式微加速度计，且各个所述MEMS电容式微加速度计的轴线之间具有预设夹角；为各个所述MEMS电容式微加速度计供电的电源模块。上述基于MEMS电容式微加速度计的传感器，可以应用到汽车定位、精细农用机械车辆导航、林区防火的无人机、精确制导武器、卫星探测等方面，环境适应性好，随温度变化较小，能够较为精确的实时获取当前加速度信息，提高测量精度，且可以连续测量冲击加速度，而性能特性不会发生明显变化。

技术领域

本实用新型涉及传感器技术领域，特别是涉及一种基于MEMS电容式微加速度计的传感器和航姿仪。

背景技术

目前，MEMS电容式微加速度计时当今测试测量加速度的趋势。MEMS电容式微加速度计具有成本低、体积小、重量轻、功耗低等优点，因此在消费电子、汽车定位、结构模态测量、制导武器、卫星探测等方面具有非常重要的应用价值。

国内外传统的高g值冲击传感器采取压阻式或压电式的原理，其精度能够满足要求，且加工难度较低。但是压阻式冲击传感器有着其自身的缺点，如温度特性差，环境适应能力有限，在全温范围内的灵敏度指标变化很大，直接影响工程测试精度。压电式冲击传感器的频响范围宽，动态特性好，但是其在连续测量高冲击加速度时会短暂发生电荷阻塞现象，影响输出精度，且压电式冲击传感器内部的压电晶体对安装时基座传递至晶体的机械应力异常敏感，会对冲击传感器的性能产生影响。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种基于MEMS电容式微加速度计的传感器和航姿仪，环境适应性好且测量精度高。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：

一种基于MEMS电容式微加速度计的传感器，包括：

基座；

多个设置在所述基座上的MEMS电容式微加速度计，且各个所述MEMS电容式微加速度计的轴线之间具有预设夹角；

为各个所述MEMS电容式微加速度计供电的电源模块。

优选的，所述MEMS电容式微加速度计的个数为三个。

优选的，三个所述MEMS电容式微加速度计的轴线之间相互垂直。

优选的，各个所述MEMS电容式微加速度计通过粘结的方式设置在所述基座上。

优选的，所述MEMS电容式微加速度计采用MEMS电容式微加速度计MSV6000系列微加速度计芯片。

优选的，还包括：

整体呈长方体型的壳体；所述基座、所述电源模块和各个所述MEMS电容式微加速度计均设置在所述壳体中。

优选的，所述壳体是通过304不锈钢材料制成的。

优选的，还包括：

对各个所述MEMS电容式微加速度计的输出信号进行电容/电压转化处理、信号放大处理以及灵敏度补偿和温度补偿处理的功能电路。

一种航姿仪，包括上述任一基于MEMS电容式微加速度计的传感器。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本实用新型实施例可以应用到汽车定位、精细农用机械车辆导航、林区防火的无人机、精确制导武器、卫星探测等方面，通过各个MEMS电容式微加速度计获取当前加速度信息，而MEMS电容式微加速度计环境适应性好，随温度变化较小，因此能够较为精确的实时获取当前加速度信息，提高测量精度。

附图说明