[实用新型]多晶硅还原炉视镜输氢孔疏通工具

说明书

本实用新型公开了多晶硅还原炉视镜输氢孔疏通工具，包括夹持装置和弹性密封筒。本实用新型结构简单，操作方便，可以手工轻松将筒体压紧并插入还原炉视孔内，便于操作使用；在疏通视孔输氢孔时不需要对输氢管切割，免除了切割焊接过程，操作方便简单，可以快速疏通，减少了维修周期。此外本实用新型通过高压泵的高压水对还原炉视孔输氢孔进行疏通，不需要使用氟化氢对输氢管进行浸泡，降低了设备损伤。

技术领域：

本实用新型涉及一种疏通工具，尤其涉及多晶硅还原炉视镜输氢孔疏通工具。

背景技术：

多晶硅还原炉是多晶硅生产的重要设备，其中多晶硅还原炉的视孔上安装有视镜，是用于监测多晶硅还原炉或对还原炉内温度测量的窗口，多采用双层玻璃结构。由于多晶硅还原炉在高温下使用，因此视镜温度也较高，常采用在视孔周向上打若干输氢孔，每个输氢孔连通输氢管，输氢管与输氢主管连通后向视镜上吹扫氢气，一方面用于降温，另一方面防止硅沉积。

但是，在采用改良西门子法生产多晶硅的过程中，由于多晶硅还原炉的炉筒清洗后，少量水飞溅在输氢孔内，在还原炉运行时，水分与进入输氢孔中少量的氯硅烷反应，生成固体二氧化硅，反应方程式如下所示：2H₂O+SiHCl₃＝SiO₂+3HCl+H₂，固体二氧化硅会堵塞输氢孔，影响向视镜的吹扫，一方面影响视镜的降温，另一方面导致视镜的硅沉积。视镜模糊后，直接影响现场及中控操作人员对多晶硅还原炉运行情况的观察，使多晶硅还原炉在失控情况下运行，易造成雾化、夹层、成品倒棒、还原炉电耗升高等问题。

现有的疏通输氢孔的方法是切割输氢管后，使用氢氟酸对输氢管进行浸泡，输氢管疏通后重新焊接，采用此种处理方法，不仅处理周期长，焊接难度大，处理成本高，还容易使设备受损，造成生产安全隐患，因此探寻一种可以方便、快速、低损伤的疏通输氢管的工具是十分必要的。

实用新型内容：

为解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种多晶硅还原炉视镜输氢孔疏通工具。

本实用新型的目的由如下技术方案实施，多晶硅还原炉视镜输氢孔疏通工具，包括夹持装置和弹性密封筒，所述夹持装置包括与视孔匹配的环形法兰盘、支撑盘、两个导向杆、两个紧固夹、丝杆、夹套，所述夹套的一端设有连接头，所述连接头上设有两个与所述夹套轴向垂直的驱动杆；

所述支撑盘与所述环形法兰盘平行设置，两个所述导向杆的两端分别与所述环形法兰盘和所述支撑盘连接，每个所述导向杆上滑动套设有所述紧固夹，所述丝杆贯穿所述支撑盘，并与所述支撑盘螺接；所述丝杆的一端与所述连接头转动连接；

所述丝杆和两个所述导向杆设于同一平面，两个所述导向杆与所述环形法兰盘连接一端的间距小于与所述支撑盘连接一端的间距；

所述连接头上的两个所述驱动杆分别与两个所述紧固夹滑动连接；

所述弹性密封筒包括与视孔匹配的“圆柱形”筒体，所述筒体的一端密封，所述筒体的筒壁上沿所述筒体的长度方向开设有通槽，所述通槽与所述筒体的开口端贯通；所述筒体的密封端与所述夹套过盈配合，所述筒体夹持于两个所述紧固夹之间。

进一步的，所述环形法兰盘的内环直径与所述视孔的内径相同。

进一步的，在所述支撑盘的中部固定设有螺母，所述丝杆与所述螺母螺接。

进一步的，所述紧固夹包括一体设计的滑动部和紧固部，所述滑动部上设有与所述导向杆匹配的导向孔，所述滑动部沿所述导向杆长度方向还设有滑槽，所述滑槽的两端设有两个与所述滑槽贯通的定位卡孔；所述导向杆穿过所述导向孔并与所述紧固夹滑动连接，所述驱动杆穿过所述滑槽并与所述紧固夹滑动连接。

进一步的，所述筒体的开口端外壁上设有密封胶垫，用于与视孔密封。

进一步的，所述丝杆上设有转动手柄。