[实用新型]无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置有效
申请号: | 201721880905.8 | 申请日: | 2017-12-28 |
公开(公告)号: | CN207741854U | 公开(公告)日: | 2018-08-17 |
发明(设计)人: | 魏儒义;张学敏;于涛;胡炳樑 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J3/45 | 分类号: | G01J3/45;G01J3/28;G01J3/02 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 王少文 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 动镜 导轨 微位移器件 本实用新型 快速稳定 探测装置 数据处理显示系统 光谱分辨率 计算机软件 抗干扰能力 半透半反 处理系统 电路硬件 复杂场合 高速运动 光谱测量 快速变化 驱动部件 分束器 干涉图 会聚镜 响应率 折返镜 探测器 定镜 光程 探测 扫描 驱动 | ||
1.无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置,包括设置在光的传播路线上的半透半反分束器(6)、定镜(5)、动镜组、会聚镜(8)、探测器及电路硬件处理系统(9)和计算机软件数据处理显示系统(10);其特征在于:
所述动镜组包括动镜(3)、固定折返镜(4)和无导轨微位移器件;所述动镜(3)和固定折返镜(4)组成多光程动镜组;所述无导轨微位移器件固定在基座(1)上,所述动镜(3)与无导轨微位移器件的驱动部件连接。
2.根据权利要求1所述的无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置,其特征在于:
还包括前置光学系统(7);所述前置光学系统(7)包括依次设置的会聚透镜(e)、光阑(d)和准直透镜(c);所述前置光学系统将目标辐射光变成平行光。
3.根据权利要求1或2所述的无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置,其特征在于:
所述半透半反分束器(6)将经准直后的平行光分成第一透射光线和第一反射光线;所述定镜(5)反射经半透半反分束器(6)后的第一透射光线,使得光线被原路返回,再经半透半反分束器(6)后形成第二透射光线和第二反射光线,其中的第二反射光线经会聚镜(8)后到达探测器及电路硬件处理系统(9);
所述多光程动镜组将第一反射光线原路返回到半透半反分束器(6),半透半反分束器(6)又将该光线分为第三透射光线和第三反射光线,第三透射光线经会聚镜(8)后到达探测器及电路硬件处理系统(9);
该第三透射光线与经定镜(5)反射后的第二反射光线产生干涉,干涉条纹被探测器及电路硬件处理系统(9)中的探测器接收。
4.根据权利要求3所述的无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置,其特征在于:所述固定折返镜(4)可采用镜组结构。
5.根据权利要求3所述的无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置,其特征在于:所述无导轨微位移器件为压电驱动器(2)。
6.根据权利要求3所述的无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置,其特征在于:所述多光程动镜组是由角镜组成的动镜组合,或者是由Herriott池、White池、矩阵型池或其改进型池组成的动镜组合。
7.根据权利要求6所述的无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置,其特征在于:所述多光程动镜组是由可运动的立方角镜以及固定的二面角镜和立方角镜组成。
8.根据权利要求6所述的无导轨快速稳定FTIR光谱探测装置,其特征在于:所述多光程动镜组是由Herriott池形成,其中:Herriott池的一侧球面反射镜作为FTIR光谱仪中的动镜,而另一侧球面反射镜固定。
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