[实用新型]一种用于瞬态热阻测试的夹持装置

说明书

本实用新型提供了一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，一种用于瞬态热阻测试的夹持装置,竖直连接杆底端固定设置在底座上，竖直连接杆顶端通过第一旋转轴与竖直支撑杆底端转动连接，竖直支撑杆顶端与水平支撑杆一端通过第二旋转轴转动连接，水平支撑杆另一端通过第三旋转轴与水平连接杆一端转动连接，下夹持板与水平连接杆另一端焊接固定，下夹持板与上夹持板上均设有螺纹穿孔，带帽螺栓穿过螺纹穿孔后与螺母旋紧，缓冲弹簧竖直设置在上夹持板的下表面与下夹持板的上表面，绝缘片设置在缓冲弹簧的端部。本实用新型所述的一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，可以避免夹持力过大或者过小对待测元件造成损坏，结构简单，拆卸方便，稳定可靠。

技术领域

本实用新型属于试验测试设备领域，尤其是涉及一种用于瞬态热阻测试的夹持装置。

背景技术

在半导体器件工艺生产过程中，为快速、有效地检验器件芯片和外壳之间的烧结质量(热阻)，一般采用瞬态热阻测试的筛选方法。该方法是向待测半导体器件施加单一功率脉冲，并在脉冲结束后测量热敏参数，推断器件芯片的温升，进而推断器件烧结质量(烧结热阻)的好坏。瞬态热阻的测试能够满足半导体器件工艺生产中的100％筛选，主要剔除那些因芯片烧结质量不合格而导致热阻偏大的器件。在对半导体器件进行瞬态热阻测试时需要对其进行夹持固定，为了保证该半导体器件能够正常工作，需要严格控制夹持装置对半导体器件的夹持力，现有夹持装置往往夹持力过大，压碎芯片，或者夹持力过小，增加接触热阻和电阻，影响测试结果。

发明内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，以解决现有用于瞬态热阻测试的装置夹持力过大或者过小的问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种用于瞬态热阻测试的夹持装置,包括底座、支撑部和夹持部，支撑部与底座固定连接，支撑部与夹持部转动连接；

支撑部包括竖直连接杆、第一旋转轴、竖直支撑杆、与第一旋转轴结构相同的第二旋转轴、水平支撑杆、第三旋转轴以及水平连接杆，竖直连接杆底端固定设置在底座上，竖直连接杆顶端通过第一旋转轴与竖直支撑杆底端转动连接，竖直支撑杆相对于连接杆绕第一旋转轴左右转动，竖直支撑杆顶端与水平支撑杆一端通过第二旋转轴转动连接，水平支撑杆相对于竖直支撑杆绕第二旋转轴上下转动，水平支撑杆另一端通过第三旋转轴与水平连接杆一端转动连接，水平连接杆相对于水平支撑杆绕第三旋转轴上下转动；

夹持部包括上夹持板、下夹持板、带帽螺栓、螺母、缓冲弹簧以及绝缘片，下夹持板与水平连接杆另一端焊接固定，下夹持板与上夹持板同侧设置有螺纹穿孔，带帽螺栓自下向上依次穿过下夹持板的螺纹穿孔与上夹持板的螺纹穿孔后与螺母旋紧，缓冲弹簧对称竖直设置在上夹持板的下表面与下夹持板的上表面，绝缘片固定设置在缓冲弹簧的端部。

进一步的，所述竖直连接杆、竖直支撑杆的底端以及第一旋转轴上均设置有第一穿孔，第一调节螺栓依次穿过第一穿孔将连接杆、竖直支撑杆的底端与第一旋转轴上的第二穿孔后由第一调节螺母旋紧连接。

进一步的，所述水平支撑杆的一端、第二旋转轴以及水平连接杆上均设置有第三穿孔，第三调节螺栓穿过第三穿孔后由第三调节螺母将水平支撑杆的一端、第三旋转轴以及水平连接杆旋紧连接。

进一步的，所述下夹持板与上夹持板均为绝缘材质。

进一步的，所述绝缘片的表面设置有绝缘突起。

进一步的，所述绝缘突起为半球状突起。

相对于现有技术，本实用新型所述的一种用于瞬态热阻测试的夹持装置具有以下优势：

本实用新型所述的一种用于瞬态热阻测试的夹持装置,第一旋转轴、第二旋转轴以及第三旋转轴的设置方便在对待测半导体元件进行瞬态测试时调整角度，缓冲弹簧可以避免夹持力过大或者过小对待测元件造成损坏，保证测试结果的准确性，本装置结构简单，拆卸方便，稳定可靠。