[实用新型]一种时间参数测量装置

说明书

本实用新型公开了一种时间参数测量装置，包括多个被测信号和测量单元，测量单元有多个脉冲信号测量模块，在多个被测信号和测量单元之间设置有被测信号发生单元、电子开关矩阵单元和测量脉冲信号形成单元；本实用新型通过在被测信号和测量单元之间增加矩阵单元，实现被测信号和测量单元中测量模块的任意连接，从而增加了测试的灵活性，可以提高多时间参数测试的效率，降低使用者的设计难度和成本。

技术领域

本实用新型属于集成电路测试领域，特别涉及一种时间参数测量装置。

背景技术

时间参数是集成电路测试领域中一类常见的参数，大部分半导体自动测试设备中都包含时间参数测量模块，可以进行脉宽、频率、上升时间、下降时间、占空比、传输延迟等时间参数的测试。

对于和被测器件某个信号相关的单一时间参数，比如信号A的频率，测试相对简单；对于被测器件相同状态下和某个信号相关的多个时间参数，比如信号A到B的传输延迟，以及信号B到信号C的传输延迟，测试这两个参数采用串行测试方案，这种方案会增加测试时间，尤其在信号为单脉冲的情况下，需要重新设置被测器件的状态才能进行第二个参数的测试，会额外增加一次设置器件状态的时间；另外，这种方案需要在模块外部增加额外的器件进行信号切换，会给使用者带来设计上的困难以及成本的提升。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种时间参数测量装置，通过信号单元和开始/停止生成单元之间增加矩阵单元，实现信号子单元和测量子单元的任意连接，从而增加了测试的灵活性，可以提高多时间参数测试的效率，降低使用者的设计难度和成本。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：一种时间参数测量装置，包括多个被测信号和测量单元，测量单元有多个脉冲信号测量模块，其中，在多个被测信号和测量单元之间设置有被测信号触发单元、电子开关矩阵单元和测量信号形成单元；

所述被测信号触发单元有多组电压比较器，每一组电压比较器对应一个被测信号，每一组电压比较器根据输入的被测信号分别输出高电位信号和低电位信号，高电位信号针对被测信号的高电位，低电位信号针对被测信号的低电位；

所述电子开关矩阵单元由多组电子开关节点组成，每一组电子开关节点分为开始节点开关和停止节点开关；

所述测量信号形成单元有多组开始/停止信号发生器，每一组开始/停止信号发生器分别有一个开始信号发生器和一个停止信号发生器；

其中：

所述每一组电子开关节点中的开始节点开关的信号输入端连接电压比较器的高电位或低电位输出信号，开始节点开关的信号输出端连接所述一组开始/停止信号发生器的开始信号发生器；所述每一组电子开关节点中的停止节点开关的信号输入端连接电压比较器的低电位或高电位输出信号，停止节点开关的信号输出端连接一组开始/停止信号发生器的停止信号发生器；

所述每一组开始/停止信号发生器的输出连接一个脉冲信号测量模块；

所述装置还包括有一个控制模块，所述控制模块连接控制所述电子开关矩阵单元，控制模块根据实际的测试要求控制电压比较器的输出与测量信号形成单元的不同连接，形成所要求的测量信号，测量信号连接至脉冲信号测量模块。

方案进一步是：所述每一组电压比较器由两个电压比较器组成，两个电压比较器的正极输入连接被测信号，两个电压比较器的负极输入连接参考电位，其中的一个电压比较器输出是针对被测信号的高电位触发信号，其中的另一个电压比较器输出是针对被测信号的低电位触发信号，所述参考电位是可调整电位。

方案进一步是：所述开始/停止信号发生器是与输入信号同极性的信号发生器，或者是与输入信号反极性的信号发生器。