[实用新型]掩膜版夹具及晶圆曝光装置有效
| 申请号： | 201721857233.9 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN207611234U | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 周阳;葛伟伟;黄志凯 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/82 | 分类号： | G03F1/82;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜版 夹具 氮气 本实用新型 冷却组件 曝光装置 传感器 晶圆 半导体制造技术 精准控制 冷却降温 曝光过程 形变 吹扫 腔体 体内 容纳 检测 | ||
1.一种掩膜版夹具，包括用于容纳掩膜版的腔体，其特征在于，还包括相互连接的传感器和冷却组件；所述传感器用于检测所述腔体内掩膜版的温度；所述冷却组件，用于向所述掩膜版吹扫氮气，并根据所述掩膜版的温度改变氮气的流速，以调整所述掩膜版的温度。
2.根据权利要求1所述的掩膜版夹具，其特征在于，所述冷却组件包括控制器以及设置于所述腔体外侧的第一传输管道；所述控制器，连接所述传感器、所述第一传输管道，用于根据所述掩膜版的温度调整所述第一传输管道传输氮气的流速。
3.根据权利要求2所述的掩膜版夹具，其特征在于，所述第一传输管道上设置有多个开口，所述氮气经所述开口吹扫至所述掩膜版表面。
4.根据权利要求3所述的掩膜版夹具，其特征在于，所述第一传输管道设置于所述腔体的一侧，所述第一传输管道的长度大于所述掩膜版的宽度，且多个开口沿所述第一传输管道的轴向均匀分布。
5.根据权利要求3所述的掩膜版夹具，其特征在于，所述第一传输管道设置于所述腔体的相对两侧，且所述第一传输管道的轴向与位于所述腔体内的基准标记所在的方向相互垂直。
6.根据权利要求2所述的掩膜版夹具，其特征在于，所述氮气的温度不低于14.8℃。
7.根据权利要求2所述的掩膜版夹具，其特征在于，所述掩膜版夹具还包括相对设置的第一夹持部、第二夹持部，所述第一夹持部、所述第二夹持部用于夹持所述掩膜版的两相对端；所述冷却组件还包括设置于所述第一夹持部和/或所述第二夹持部内的第二传输管道，所述第二传输管道用于传输冷却水。
8.根据权利要求7所述的掩膜版夹具，其特征在于，所述控制器，连接所述第二传输管道，用于根据所述掩膜版的温度调整所述第二传输管道传输冷却水的流速。
9.根据权利要求1所述的掩膜版夹具，其特征在于，所述传感器设置于所述腔体外侧；所述传感器包括多个子传感器，且多个子传感器关于所述腔体的轴向对称分布。
10.一种晶圆曝光装置，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的掩膜版夹具。
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G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
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