[实用新型]一种超高导热型陶瓷基板有效
| 申请号: | 201721852018.X | 申请日: | 2017-12-25 |
| 公开(公告)号: | CN207678068U | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
| 发明(设计)人: | 林晨;蔡旭峰 | 申请(专利权)人: | 广东全宝科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H05K1/03 | 分类号: | H05K1/03;H05K7/20 |
| 代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 俞梁清 |
| 地址: | 519125 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 铜层 陶瓷层 金属层 加厚 气相沉积 导热型 导热性 金属氧化物层 连接金属层 附着能力 抗氧化层 陶瓷基板 载流能力 陶瓷基 电镀 层间 基板 | ||
本实用新型公开了一种超高导热型陶瓷基板,包括陶瓷层,所述陶瓷层的一面气相沉积有金属层,所述金属层上远离陶瓷层的一面气相沉积有第一铜层,所述第一铜层上远离金属层的一面电镀有加厚铜层,所述加厚铜层上远离第一铜层的一端为抗氧化层;所述陶瓷层上连接金属层的一端为金属氧化物层。提升基板机械强度、导热性、载流能力及层间附着能力。
技术领域
本实用新型涉及印制电路板技术领域,尤其是涉及一种超高导热型陶瓷基板。
背景技术
随着微电子集成技术的高速发展,印制电路板领域对基板的要求越来越高;其中,陶瓷基板在机械应力方面逐步替代了金属基板或塑料基板。陶瓷基板的热膨胀系数与硅的更接近,安装在陶瓷基板上的硅芯片受到的机械应力很低,有效提高了基板工作质量及使用寿命。
然而现有的陶瓷基板中,基于陶瓷层的设置,陶瓷层的导热性不够良好,金属层加工至陶瓷层表面时金属受到的附着力较小。
实用新型内容
为克服现有技术的不足,本实用新型的目的在于提供一种超高导热型陶瓷基板,解决陶瓷层导热性不够良好、金属层附着力较小的问题。
本实用新型为解决其技术问题采用的技术方案是:
一种超高导热型陶瓷基板,包括陶瓷层,所述陶瓷层的一面气相沉积有金属层,所述金属层上远离陶瓷层的一面气相沉积有第一铜层,所述第一铜层上远离金属层的一面电镀有加厚铜层,所述加厚铜层上远离第一铜层的一端为抗氧化层;所述陶瓷层上连接金属层的一端为金属氧化物层。
优选地,所述陶瓷层上连接金属层的一端设置有若干个孔,金属层部分穿设在孔中,孔的深度为陶瓷层厚度的0.3~0.6倍。
优选地,所述金属层为多种金属混合层。
优选地,所述第一铜层的厚度为20~200nm。
优选地,所述第一铜层及加厚铜层的总厚度为35~200um。
优选地,所述抗氧化层的厚度为5~100nm。
优选地,所述金属层的厚度为20nm~200um。
优选地,所述陶瓷层的厚度为0.2~2mm。
本实用新型采用的一种超高导热型陶瓷基板,具有以下有益效果:
1.陶瓷层的一面气相沉积有金属层,提升基板机械强度;
2.远离陶瓷层的一面气相沉积有第一铜层,保证铜层与陶瓷层间附着牢固,第一铜层较好附着至陶瓷层,则铜层能够加工出大功率厚度;
3.设置加厚铜层,保证基板电路载流功率;
4.设置抗氧化层,有效保证铜层的抗氧化性能,提升铜层电路工作质量、延长基板使用寿命;
5.陶瓷层设置金属氧化物层,金属层向陶瓷层有一个良好的导热性,保证基板有良好的热散性、提升基板工作质量及其使用寿命,同时提升金属层附着于陶瓷层的强度。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实例对本实用新型作进一步说明。
如图1所示,本实用新型的一种超高导热型陶瓷基板,包括陶瓷层1,所述陶瓷层1的一面气相沉积有金属层2,所述金属层2上远离陶瓷层1的一面气相沉积有第一铜层31,所述第一铜层31上远离金属层2的一面电镀有加厚铜层32,所述加厚铜层32上远离第一铜层31的一端为抗氧化层32a;所述陶瓷层1上连接金属层2的一端为金属氧化物层11。
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