[实用新型]一种椭圆偏振测厚仪

权利要求书

1.一种椭圆偏振测厚仪，其特征在于：包括实验底座(1)，所述实验底座(1)上设有转轴(2)，所述转轴(2)的上端连接工作台(3)，所述工作台(3)上依次设有激光器(4)、起偏器(5)、样品台(6)、检偏器(7)、光电探测器(8)，所述激光器(4)的前端设有准直镜(9)，所述起偏器(5)的前端设有分束器(10)，所述检偏器(7)的下方设有光电倍增管(11)，所述实验底座(1)上设有开关(12)和USB外接口(13)。

2.根据权利要求1所述的椭圆偏振测厚仪，其特征在于：所述激光器(4)发出的光源设置在准直镜(9)的焦点处。

3.根据权利要求1所述的椭圆偏振测厚仪，其特征在于：所述光电探测器(8)内设有A/D转化模块。

4.根据权利要求1所述的椭圆偏振测厚仪，其特征在于：所述激光器(4)采用带布儒斯特窗的氦氖激光器。

5.根据权利要求1所述的椭圆偏振测厚仪，其特征在于：所述光电倍增管(11)、光电探测器(8)通过电线与实验底座(1)的USB外接口(13)连接。

6.根据权利要求1所述的椭圆偏振测厚仪，其特征在于：所述实验底座(1)的底部设有支撑腿(14)。