[实用新型]一种靶材冷却装置

权利要求书

1.一种靶材冷却装置，包括靶材和冷却靶座，其特征在于，所述冷却靶座包括冷却腔，所述冷却腔上壁为冷却背板用于放置所述靶材，所述冷却腔两端分别设置有冷却介质入口和冷却介质出口，所述冷却腔内上下壁设有若干彼此交错且间隔设置的导流板，使所述冷却腔内部空间形成曲折连通的冷却介质流道；所述靶材和冷却背板采用热粘接以使两者充分接触。

2.根据权利要求1所述的一种靶材冷却装置，其特征在于，所述冷却背板为齿状，所述靶材底部形状对应冷却背板以使所述靶材与所述冷却背板充分啮合。

3.根据权利要求2所述的一种靶材冷却装置，其特征在于，所述齿状冷却背板两端的齿形高度大于所述齿状冷却背板中部的齿形高度。

4.根据权利要求1所述的一种靶材冷却装置，其特征在于，所述冷却腔中间设有一隔离板将所述冷却腔分隔为两个对称设置的隔离冷却腔，每一所述隔离冷却腔下部靠近所述隔离板均设置有开口，其中靠近所述冷却介质入口的开口对应为中部冷却介质出口，靠近所述冷却介质出口的开口对应为中部冷却介质入口。

5.根据权利要求1所述的一种靶材冷却装置，其特征在于，所述冷却靶座采用热导率高于10W/(m.k)的导热材料制成。

6.根据权利要求5所述的一种靶材冷却装置，其特征在于，所述导热材料包括石墨烯或者合金材料。

7.根据权利要求1所述的一种靶材冷却装置，其特征在于，冷却介质为热导率高于0.5W/(m.k)的导热流体。

8.根据权利要求7所述的一种靶材冷却装置，其特征在于，所述导热流体为纳米流体。

9.根据权利要求1-7任一所述的一种靶材冷却装置，其特征在于，所述靶材和冷却背板连接处设置有填充物，所述填充物为纯铟、铟合金、锡铜合金、锌锡合金或者锡银铜合金。