[实用新型]双腔狭缝喷嘴

说明书

本实用新型的目的在于提供一种双腔狭缝喷嘴，其使得药液所包含的气泡顺畅地排出到外部，从而提高药液的涂布质量，同时可以提高涂布于基板表面的药液涂布膜的均匀度。用于实现所述目的的本实用新型包括：第一空腔，其与药液流入的流入流路相连接，并被药液一次填充；连接流路，其与所述第一空腔的下流相连接；以及第二空腔，其形成于所述连接流路和将药液喷射于基板表面的排出流路之间，并被药液二次填充。

技术领域

本实用新型涉及一种双腔狭缝喷嘴，更为详细地，涉及一种双腔狭缝喷嘴，其快速且顺畅地排出药液所包含的气泡，从而提高药液的涂布质量，同时可以提高涂布于基板表面的药液涂布膜的均匀度。

背景技术

基板涂布装置将药液以一定的厚度均匀地涂布于平板基板，并可以用于多种领域，如下的涂布工艺也属于其中一种：为了制造如液晶显示器(LCD)一样的平板显示器而将感光性树脂涂布于玻璃基板表面。

随着显示器基板的尺寸大型化，作为药液涂布方式正广泛使用利用狭缝喷嘴(Slit Nozzle)的狭缝涂布方式。狭缝涂布方式为：使得狭缝喷嘴沿着基板移送的同时喷射并涂布药液，狭缝喷嘴具有与被处理基板的宽度相对应的长度。

参照图1，就现有基板涂布装置1而言，在基板20固定于工作台10上的状态下，狭缝喷嘴30通过驱动部50的驱动而沿着基板20的上侧空间移动的同时涂布药液40。在图1中， X轴指狭缝喷嘴30移动的水平方向，Y轴指与X轴直角交叉的水平方向，Z轴指与X轴及Y轴直角交叉的竖直方向。所述狭缝喷嘴30沿Y轴方向长长地构成，基板20以其宽度方向与Y 轴方向一致的形式安装于工作台10上。

参照图2和图3，所述狭缝喷嘴30包括相面对的第一主体31和第二主体32，通过形成于所述第一主体31和第二主体32之间的流入口32a来供给药液40，通过依次形成于其下侧的流入流路33、空腔34、排出流路35及喷出口36将药液40喷射并涂布于基板20的表面。就所述空腔34而言，使得通过流入流路33的药液40填充于其内部空间，若在空腔34内完成药液40的填充，则向空腔34内施加一定的压力，通过与空腔34的下侧相连接的排出流路35使得药液40供给至喷出口36。据此，空腔34起到遍及喷出口36的Y轴方向整个区域而均匀地喷射药液40的功能。

现有的形成于狭缝喷嘴30的空腔34由单一结构形成，作为用于使得药液40所包含的气泡顺畅地排出的构成，空腔34以如下形式构成为沿两侧向下倾斜的形态：以中间部34a为基准两侧部34b形成为小于180°的角度θ。

根据所述构成，具有如下优点：利用药液40所包含的气泡的浮力，能够使得气泡顺着空腔34的倾斜面浮起而顺畅地排出，但是，在喷射药液40的同时进行移动时，剪切力从空腔34的中间部34a向两侧部34b渐渐变大，从而以向空腔34的两侧部34b偏重的形式供给药液40。因此，如图3所示，与其他区域相比，涂布于基板20表面的药液40的两侧部40a被过多地涂布为向上侧凸起的形态，从而降低药液涂布膜的均匀度，因此，具有导致产品不良的问题。

作为与所述狭缝喷嘴相关的先行技术的一个例子，在韩国登记专利第10-1243087号中公开了一种狭缝喷嘴，狭缝喷嘴将药液喷射于基板，所述狭缝喷嘴具有多个通气孔，以便可以容易地排出空腔内的空气(Air)。

公开于所述登记专利第10-1243087号的狭缝喷嘴虽然具有使得空腔的倾斜面角度形成得很大从而可以顺畅地进行通气的优点，但是如上所述，以向空腔34的两侧部34b偏重的形式供给药液40，据此具有降低药液涂布膜的均匀度的问题。尤其，还具有如下问题：涂布粘度大的药液时，所述药液涂布膜的不均匀度变得更大。

实用新型内容

本实用新型是为了解决所述问题而提出的，其目的在于提供一种双腔狭缝喷嘴，其使得药液所包含的气泡顺畅地排出到外部，从而使得药液的涂布质量提高，同时可以使得涂布于基板表面的药液涂布膜的均匀度提高。