[实用新型]一种多晶硅破碎台

说明书

本实用新型属于单晶硅制备领域，尤其涉及一种多晶硅破碎台，包括与支腿连接的台板，所述台板顶部设有三侧围板和一侧铰接门，铰接门沿台板宽度方向设置，三侧围板与铰接门之间的台板上用于放置紧密排列的多晶硅棒，台板上设有漏料孔，漏料孔位于多晶硅棒的间隙处，台板底部设有卸料装置，卸料装置与台板转动连接。本实用新型结构简单，设计合理，能够提高多晶硅棒的破碎合格率，同时便于对破碎后的多晶硅碎块卸料，提高生产效率。

技术领域

本实用新型属于单晶硅制备领域，尤其涉及一种多晶硅破碎台。

背景技术

单晶硅作为半导体晶片材料，主要利用向熔化状态的多晶硅中加入晶核生成的制备方法制备。目前多晶硅利用西门子法的方法来制造，一般皆呈140mm 左右的成为大致圆柱状的多晶硅的硅棒，所以在制备单晶硅前，需要将多晶硅棒破碎成一定尺寸的硅块，放入坩埚熔化。在硅棒破碎过程中，多晶硅棒放置在破碎台上，多以气锤等机械方式击打破碎，在此过程中，破碎台表面承受较大外力，造成表面磨损，脱落下的碎屑会混入硅块、硅粉尘中，引入污染物，造成多晶硅块纯度的下降，继而对单晶质量造成影响。

现有技术中存在一些利用多晶硅棒形成破碎台面的方式来改善磨损，但是多晶硅在破碎时会破碎为小块，小块的多晶硅会落入硅棒之间的空隙内，难以取出，且当空隙填满时，容易使小块的多晶硅块形成凸尖部，在锤击的过程中这些凸尖部容易被打击成为粉末，造成资源浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多晶硅破碎台，本实用新型结构简单，设计合理，能够提高多晶硅棒的破碎合格率，同时便于对破碎后的多晶硅碎块卸料，提高生产效率。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：

一种多晶硅破碎台，包括与支腿连接的台板，所述台板顶部设有三侧围板和一侧铰接门，铰接门沿台板宽度方向设置，三侧围板与铰接门之间的台板上用于放置紧密排列的多晶硅棒，台板上设有漏料孔，漏料孔位于多晶硅棒的间隙处，台板底部设有卸料装置，卸料装置与台板转动连接。

优选的，所述卸料装置包括卸料板和振动电机，卸料板长度方向上的一端与台板底部铰接、另一端向下倾斜设置，卸料板的长度方向两侧竖直向上延伸设有挡板，所述振动电机位于卸料板底部。

优选的，所述台板底部长度方向两侧处竖直向下延伸设有连接板，连接板底部的板面上设有凹槽，卸料板的挡板顶部位于凹槽内并通过缓冲弹簧与凹槽的槽面连接。

优选的，所述卸料板的较低处端口一侧设有铁粉吸附机构，铁粉吸附机构包括支撑架以及设置于支撑架上的磁石条。

优选的，所述台板上长度方向两侧处的围板顶部呈对向弯曲的弧板状。

本实用新型的工作过程如下：

工作人员一次性将数根多晶硅棒填充入三侧围板和铰接门之间的台板上，同时在排列放置多晶硅棒时，应当避开漏料孔放置然后关闭铰接门，这些排列后的多晶硅棒形成新的破碎平台，再将需要破碎的多晶硅棒放在多晶硅棒形成的平台上，利用气锤等工具对其进行破碎即可，如此即便破碎平台存在磨损，也是多晶硅棒的磨损，大大降低了杂质的引入量。侧板顶部呈弧形，可以有效遮挡破碎过程中溅起的碎块。

破碎后的多晶硅碎块从形成破碎平台的多晶硅棒之间落入漏料孔处，进而落入卸料板上，由于卸料板倾斜设置，所以这些碎块可以在重力作用下下落并被收集，同时铁粉吸附装置上的磁石对下落过程中的碎块进行再次除杂，吸取其中的铁粉，进一步降低气锤磨损造成的铁粉掺入。

为了防止卸料板上积料，可以通过启动振动电机，带动卸料板振动，由于卸料板通过挡板上的弹簧与底板底部的连接板凹槽连接，所以卸料板可以作上、下振动，以便卸料板上的多晶硅碎块快速下落。