[实用新型]真空干燥装置

说明书

本实用新型涉及一种真空干燥装置，包括箱体和传送组件，其中箱体包括依次通过传送通道连接的进样室、干燥室和出样室，传送通道上设有传送门；干燥室通过第二抽气管路与第二抽气装置连接，进样室和出样室分别通过第一抽气管路与第一抽气装置连接。与传统真空干燥箱相比，上述真空干燥装置通过设置作为样品过渡腔室的进样室和出样室，从而在干燥室内对多个样品进行成膜干燥时，无需对干燥室进行反复抽真空，只需调整进样室和出样室的气压，即可实现在恒压状态下将样品传送入干燥室或从干燥室传出，整体上能够显著提高干燥效率，并保证有机电致发光器件的成膜质量。

技术领域

本实用新型涉及干燥设备领域，特别是涉及一种真空干燥装置。

背景技术

有机电致发光器件是一种自发光器件，具有电压低、视角宽、响应速度快、温度适应性好等优势，属于新一代的显示技术。有机电致发光器件由于制造过程复杂，生产成本始终偏高，导致大尺寸有机电致发光器件显示屏在成本上一直无法与液晶显示器竞争。现在打印技术和印刷技术被科学界公认为降低大尺寸有机电致发光器件显示屏生产成本的最佳途径，所以工业界纷纷研究大尺寸有机电致发光器件的打印及印刷的工艺技术。采用喷墨打印或印刷等方法制作有机电致发光器件过程中，需要对有机发光器件中的薄膜层进行干燥以去除溶剂，以防止残留的溶剂对显示屏的寿命造成不良影响。

传统普遍采用真空干燥箱对有机电致发光器件中的薄膜层进行干燥，但该干燥方式在更换待干燥样品时，需要反复抽放真空，影响其他膜层的干燥效率和成膜质量。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种能够连续干燥多个样品的真空干燥装置，以保证各有机电致发光器件中薄膜层的成膜质量。

一种真空干燥装置，包括箱体和传送组件；

所述箱体包括依次通过传送通道连接的进样室、干燥室和出样室，所述传送通道上设有传送门；所述进样室设有进样口，所述出样室设有出样口，所述进样室和所述出样室分别通过第一抽气管路与第一抽气装置连接以分别调节所述进样室和所述出样室的气压；所述干燥室通过第二抽气管路与第二抽气装置连接以用于对样品进行连续干燥；

所述传送组件用于将样品从所述进样室转移至所述干燥室或从所述干燥室转移至所述出样室。

在其中一个实施例中，所述真空干燥装置还包括抽气均流件；

所述抽气均流件设于所述进样室、所述干燥室和/或所述出样室内，用于将所述进样室、所述干燥室和/或所述出样室内的气流均匀抽出。

在其中一个实施例中，所述真空干燥装置还包括抽气缓冲通道；

所述抽气缓冲通道的进气端设有所述抽气均流件，所述抽气缓冲通道的出气端对应与所述第一抽气管路或所述第二抽气管路连接。

在其中一个实施例中，所述抽气均流件为网状多孔板。

在其中一个实施例中，所述进样室、所述干燥室和/或所述出样室还设有补气管路。

在其中一个实施例中，所述真空干燥装置还包括补气均流件，所述补气均流件设于所述进样室、所述干燥室和/或所述出样室内，用于均匀分散所述进样室、所述干燥室和/或所述出样室内的补气气流。

在其中一个实施例中，所述的真空干燥装置还包括孔径逐渐扩大的补气缓冲通道；

所述补气缓冲通道的进气端孔径较小，且该端连接所述补气管路；

所述进气均流件设于所述补气缓冲通道的出气端。

在其中一个实施例中，所述进样室的补气口和抽气口相对设置在所述进样室内的顶部和底部；

所述干燥室的补气口和抽气口相对设置在所述干燥室内的顶部和底部；和/或