[实用新型]一种高可靠高压二极管有效
| 申请号： | 201721824609.6 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN207719220U | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 黄小锋 | 申请（专利权）人： | 常州星海电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/861 | 分类号： | H01L29/861;H01L29/06;H01L23/29;H01L21/329 |
| 代理公司： | 常州市华信天成专利代理事务所(普通合伙) 32294 | 代理人： | 杨闯 |
| 地址： | 213000*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 钝化保护层 上沟槽 下沟槽 本实用新型 高压二极管 反向电压 晶圆本体 高可靠 玻璃钝化保护层 玻璃钝化 从上至下 第二镍层 第一镍层 双面玻璃 上表面 双沟槽 下表面 卷曲 延伸 | ||
【权利要求书】：
1.一种高可靠高压二极管，其特征在于：包括晶圆本体，所述晶圆本体从上至下依次包括P+区、N区以及N+区，所述P+区的四周设有上沟槽，所述N+区的四周设有下沟槽，所述上沟槽从P+区延伸至N区，所述P+区的上表面设有第一镍层，所述N+区的下表面设有第二镍层，所述上沟槽与下沟槽的表面均设有SIPOS钝化保护层，所述SIPOS钝化保护层的表面设有玻璃钝化保护层，所述上沟槽的深度大于下沟槽的深度。
2.根据权利要求1所述的一种高可靠高压二极管，其特征在于：所述上沟槽的深度为130μm-160μm，宽度为0.4-0.6mm，所述下沟槽的深度为60μm-80μm，宽度为0.1-0.15mm。
3.根据权利要求1所述的一种高可靠高压二极管，其特征在于：所述SIPOS钝化保护层的厚度为1μm-2μm，上沟槽中的玻璃钝化层的厚度为60-80μm，下沟槽中的玻璃钝化层的厚度为30-40μm。
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