[实用新型]电池片翻片装置有效
申请号: | 201721817867.1 | 申请日: | 2017-12-22 |
公开(公告)号: | CN207529912U | 公开(公告)日: | 2018-06-22 |
发明(设计)人: | 杨斌 | 申请(专利权)人: | 君泰创新(北京)科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人: | 周放;张春雨 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 龙门架 硅片 翻片 敷设 翻片装置 电池片 本实用新型 翻片机构 滑动设置 装载机构 翻转 载板 影响生产效率 硅片料盒 生产节拍 自动化 配合 | ||
1.一种电池片翻片装置,其特征在于,包括:
翻片机构,所述翻片机构包括滑动设置的第一龙门架,所述第一龙门架用于翻转硅片;
装载机构,所述装载机构包括滑动设置的第二龙门架,所述第二龙门架用于将翻转后的所述硅片敷设到载板上。
2.根据权利要求1所述的电池片翻片装置,其特征在于,所述第一龙门架包括第一支撑梁、传动臂和第一拾取机构,所述传动臂与所述第一支撑梁转动连接,所述第一拾取机构与所述传动臂转动连接。
3.根据权利要求2所述的电池片翻片装置,其特征在于,所述第一拾取机构包括第一升降装置和第一吸盘,所述第一升降装置的一端与所述传动臂转动连接,所述第一升降装置的另一端与所述第一吸盘相连。
4.根据权利要求3所述的电池片翻片装置,其特征在于,所述第一升降装置为第一升降气缸,所述第一升降气缸的缸体与所述传动臂转动连接,所述第一升降气缸的活塞杆与所述第一吸盘相连。
5.根据权利要求4所述的电池片翻片装置,其特征在于,所述第一龙门架还包括连接梁,所述连接梁与所述第一升降气缸的活塞杆固定连接;
所述第一吸盘的数量有多组,多组所述第一吸盘均匀分布在所述连接梁上。
6.根据权利要求1-5任一项所述的电池片翻片装置,其特征在于,所述翻片机构还包括对称设置在所述第一龙门架两侧的第一滑轨,所述第一龙门架与所述第一滑轨滑动连接。
7.根据权利要求1所述的电池片翻片装置,其特征在于,所述第二龙门架包括第二支撑梁、第二升降装置和第二拾取机构,所述第二升降装置固定设置在所述第二支撑梁上,所述第二拾取机构与所述第二升降装置滑动连接。
8.根据权利要求7所述的电池片翻片装置,其特征在于,所述第二拾取机构包括连接支架和第二吸盘,所述连接支架的一端与所述第二升降装置相连,所述连接支架的另一端与所述第二吸盘相连。
9.根据权利要求8所述的电池片翻片装置,其特征在于,所述第二升降装置包括伺服电机、丝杠和限位支架,所述伺服电机的输出轴与所述丝杠固定连接;
所述限位支架固定于所述第二支撑梁固定连接,所述限位支架中设置有空心腔体,所述丝杠伸入到所述空心腔体中,所述限位支架的侧壁上设置有与所述连接支架滑动连接的限位槽;
所述连接支架的一端设置有与所述丝杠配合的螺纹孔。
10.根据权利要求7-9任一项所述的电池片翻片装置,其特征在于,所述装载机构还包括对称设置在所述第二龙门架两侧的第二滑轨,所述第二龙门架与所述第二滑轨滑动连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造