[实用新型]一种真空等离子机的快速插拔电极

说明书

本实用新型提出了一种真空等离子机的快速插拔电极，包括电极板本体，所述电极板本体两端设有绝缘导块，所述绝缘导块之间电极板侧边设有至少一个电机快插公头，所述快插公头插于设备的母头上；所述快插公头包括C形卡块，所述C形卡块上连接有电极头，所述电极头周围设有环形磁铁；所述电极板本体表面设有两条定位槽，所述定位槽内设有磁铁条，所述C形卡块上设有定位钉，本电极板能够在真空等离子腔体内增加数量，以适应不同高度的产品，并且能够快速插拔，并且可根据不同设备的母头插口的位置调整公头位置，适用性高，解决生产维护过程中的不方便问题，增加设备的弹性，并且电极在腔体内滑动时运行顺畅，不会卡死。

技术领域

本实用新型涉及等离子处理设备领域，尤其涉及真空等离子机的快速插拔电极。

背景技术

等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

现有真空离子处理设备水平结构的电极板是固定在结构内的在使用中若遇到高度超过层高的工件，就放不进去。在后续设备维护保养，电极打磨时也会拆卸麻烦而费工费时。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提出了一种真空等离子机的快速插拔电极，包括电极板本体，所述电极板本体两端设有绝缘导块，所述绝缘导块之间电极板侧边设有至少一个电机快插公头，所述快插公头插于设备的母头上；所述快插公头包括C形卡块，所述C形卡块上连接有电极头，所述电极头周围设有环形磁铁；所述电极板本体表面设有两条定位槽，所述定位槽内设有磁铁条，所述C形卡块上设有定位钉，所述定位钉穿过所述C形卡块并插于所述定位槽内。

优选的，所述电极板本体与所述C形卡块连接的一侧设有内陷滑槽。

优选的，所述定位钉上套有弹簧。

优选的，所述电极板本体表面设有至少一个手持位。

优选的，所述绝缘导块内排列卡设有滚珠。

本实用新型提出的真空等离子机的快速插拔电极有以下有益效果：本电极板能够在真空等离子腔体内增加数量，以适应不同高度的产品，并且能够快速插拔，并且可根据不同设备的母头插口的位置调整公头位置，适用性高，解决生产维护过程中的不方便问题，增加设备的弹性，并且电极在腔体内滑动时运行顺畅，不会卡死。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的快插公头示意图；

其中，1、电极板本体；2、绝缘导块；3、快插公头；4、C形卡块；5、电极头；6、环形磁铁；7、定位槽；8、内陷滑槽；9、定位钉；10、弹簧；11、滚珠；12、磁铁条；13、手持位。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。