[实用新型]气体激光装置

说明书

本实用新型提供一种气体激光装置，通过将窗架设置为位于比缩短状态下的光路管的外侧端部靠内侧的位置处，能够避免在对气体激光装置进行维修时窗架与其他部件发生碰撞，从而降低了窗发生破损的可能性。

技术领域

本实用新型涉及激光领域，尤其涉及一种气体激光装置。

背景技术

对于具有窗的气体激光装置，为了便于维修，一般将窗安装在可拆装的窗架上。例如，在进行窗的更换或者腔室的更换时，通过可拆装的窗架将窗从腔室上拆下。图1是现有的气体激光装置在工作状态下的部分结构的一示意图，图2是现有的气体激光装置在维修状态下的部分结构的一示意图。如图1所示，窗架1对窗2进行保持，窗架1通过窗架保持部3固定在腔室4上，在气体激光装置处于工作状态时，光路管5的一端固定在腔室上，另一端固定在空腔板6上；如图2所示，在气体激光装置处于维修状态时，光路管5的一端固定在腔室上，另一端从空腔板6上拆下从而光路管5缩短。

例如，专利文献1(JP2009-99575A)公开了类似的结构。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

实用新型内容

本实用新型的发明人发现，在上述现有的气体激光装置中，由于在维修状态下，窗架1从光路管5的另一端突出，因此，在对气体激光装置进行维修时窗架1有可能与其他部件发生碰撞而导致窗架1和窗2的破损。

本实用新型实施例提供一种气体激光装置，将窗架设置为位于比缩短状态下的光路管的外侧端部靠内侧的位置处，能够避免在对气体激光装置进行维修时窗架与其他部件发生碰撞，从而降低了窗发生破损的可能性。

根据本实用新型实施例的第一方面，提供一种气体激光装置，所述气体激光装置具有：腔室，其内部容纳有激光介质气体；窗，其使激光透射；窗架，其对所述窗进行保持，所述窗架以可拆装的方式安装在所述腔室上；空腔板，其对气体激光装置的至少一部分进行保持，且所述空腔板与所述窗相对设置；以及可伸缩的光路管，其一端固定在所述腔室上，另一端以可拆装的方式固定在所述空腔板上，所述光路管在从所述空腔板上拆下时缩短，在所述气体激光装置的轴向上，所述窗架位于比缩短状态下的所述光路管的所述另一端靠内侧的位置处。

根据本实用新型实施例的第二方面，其中，在所述气体激光装置的轴向上，所述窗架在外侧具有缺口。

根据本实用新型实施例的第三方面，其中，所述缺口所在的平面与缩短状态下的所述光路管的所述另一端的端面共面。

根据本实用新型实施例的第四方面，其中，在所述气体激光装置的轴向上，所述缺口所在的平面位于比缩短状态下的所述光路管的所述另一端的端面靠内侧的位置处。

根据本实用新型实施例的第五方面，其中，在所述气体激光装置的轴向上，所述光路管所在的区域覆盖所述窗架所在的区域。

根据本实用新型实施例的第六方面，其中，所述窗为布儒斯特窗。

根据本实用新型实施例的第七方面，其中，所述气体激光装置还具有光栅、棱镜和输出镜，所述气体激光装置具有包括第一空腔板和第二空腔板的两个所述空腔板，所述第一空腔板保持所述光栅和所述棱镜，所述第二空腔板保持所述输出镜，所述第一空腔板和所述第二空腔板被设置为夹着所述腔室。

根据本实用新型实施例的第八方面，其中，所述气体激光装置具有包括第一窗和第二窗的两个所述窗，所述第一空腔板与所述第一窗相对设置，所述第二空腔板与所述第二窗相对设置。

本实用新型的有益效果在于：通过将窗架设置为位于比缩短状态下的光路管的外侧端部靠内侧的位置处，能够避免在对气体激光装置进行维修时窗架与其他部件发生碰撞，从而降低了窗发生破损的可能性。