[实用新型]一种光谱成像型微滤光片有效
| 申请号： | 201721803328.2 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN208140255U | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 唐文江 | 申请（专利权）人： | 湖南宏动光电有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/28 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 魏国先 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市高新技术开发*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光单元 微滤 衬底 微滤光片 工作波长 光谱成像 窄带滤波 多通道 制备 带宽 本实用新型 成像单元 尺寸确定 多层介质 目标光谱 柔性材料 单通道 集成度 透过率 硅片 滤光 石英 像元 匹配 干涉 | ||
【权利要求书】：
1.一种光谱成像型微滤光片，其特征在于：包括周期性微滤光单元和衬底，周期性微滤光单元制备在衬底上；所述周期性微滤光单元为具有特定工作波长、带宽、透过率和抑止率的F-P型周期性干涉滤光多层介质膜。
2.根据权利要求1所述的光谱成像型微滤光片，其特征在于：所述衬底为根据目标光谱特性进行选择的石英、硅片或者柔性材料衬底。
3.根据权利要求1所述的光谱成像型微滤光片，其特征在于：所述周期性微滤光单元与CCD探测器成像单元相匹配，周期性微滤光单元的大小根据CCD探测器的像元尺寸确定。
4.根据权利要求1所述的光谱成像型微滤光片，其特征在于：所述周期性微滤光单元为单通道窄带滤波或多通道窄带滤波的单元，带宽小于5nm。
5.根据权利要求1所述的光谱成像型微滤光片，其特征在于：衬底上制备两个、三个或者四个具有不同工作波长的周期性微滤光单元，形成多通道微滤光片。
6.根据权利要求1所述的光谱成像型微滤光片，其特征在于：所述周期性微滤光单元制备在衬底上采用紫外光刻、离子溅射镀膜、电子束蒸发镀膜和离子束刻蚀进行加工。
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