[实用新型]一种掩膜电液束加工装置有效
| 申请号： | 201721794526.7 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN207695794U | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 吴明;郭钟宁;何俊峰;陈晓磊 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学;佛山市铬维科技有限公司 |
| 主分类号： | B23H3/00 | 分类号： | B23H3/00 |
| 代理公司： | 广州胜沃园专利代理有限公司 44416 | 代理人： | 孙文卉 |
| 地址： | 510006 *** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电液 喷嘴 绝缘模板 电解液 电解液输送管道 本实用新型 电源阳极 加工装置 掩膜 电源 压力控制系统 阴极 半导体技术 材料去除率 电解液射流 电源阴极 工件连接 光刻工艺 光刻技术 过滤系统 连接电源 一端连接 一端设置 工件仓 压力泵 载物台 去除 加工 | ||
【权利要求书】：
1.一种掩膜电液束加工装置，其特征在于，包括：
工件仓；
设置于所述工件仓内底部的电解液；
安装在工件仓内的载物台，所述载物台与工件仓底部通过支架连接；
安装在载物台上的工件，所述工件上设置有绝缘模板；
设置于工件上方的电液束喷嘴；
连接在所述电液束喷嘴上的电解液输送管道，所述电解液输送管道另一端连接电解液；
电源，所述电源包括电源阳极和电源阴极，所述电源阳极连接工件，所述电源阴极连接电液束喷嘴。
2.如权利要求1所述的掩膜电液束加工装置，其特征在于：所述电解液输送管道连接电解液处安装有过滤系统。
3.如权利要求1所述的掩膜电液束加工装置，其特征在于：所述电解液输送管道上设置有压力泵。
4.如权利要求1所述的掩膜电液束加工装置，其特征在于：所述电解液输送管道上设置有电解液射流压力控制系统，所述电解液射流压力控制系统设置于电液束喷嘴和压力泵之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东工业大学;佛山市铬维科技有限公司，未经广东工业大学;佛山市铬维科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201721794526.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
