[实用新型]一种基于柔性薄膜的MEMS执行器

权利要求书

1.一种基于柔性薄膜的MEMS执行器，其特征在于：包括透明基底(1)，透明基底(1)的中部设有铜线圈(2)，铜线圈(2)的两端分别连接有设置在透明基底上的导电片(3)，透明基底(1)的两侧经间隔层(4)设有硅衬底(7)，硅衬底(7)上设有一层柔性薄膜(5)，柔性薄膜(5)的内表面上设有一层磁性复合层(6)，磁性复合层(6)位于铜线圈(2)的上方。

2.根据权利要求1所述的基于柔性薄膜的MEMS执行器，其特征在于：所述磁性复合层(6)包括聚合物薄膜层，聚合物薄膜层上设有磁性颗粒。

3.根据权利要求1所述的基于柔性薄膜的MEMS执行器，其特征在于：所述铜线圈(2)和导电片(3)的厚度范围为100nm-200nm。

4.根据权利要求1所述的基于柔性薄膜的MEMS执行器，其特征在于：所述硅衬底(7)上设有与磁性复合层大小一致的方孔。

5.根据权利要求1所述的基于柔性薄膜的MEMS执行器，其特征在于：所述硅衬底的厚度为500μm，在KOH或者TMAH溶液中的湿法刻蚀角度为54.7°。

6.根据权利要求1所述的基于柔性薄膜的MEMS执行器，其特征在于：所述透明基底(1)上设有四个通孔，四个通孔内分别固定两个导电片和铜线圈的两端，铜线圈的两端通过铜电极分别与两个导电片连接，铜电极设置在透明基底(1)的背面。

7.根据权利要求1所述的基于柔性薄膜的MEMS执行器，其特征在于：所述柔性薄膜(5)是高分子聚合物薄膜。

8.根据权利要求1所述的基于柔性薄膜的MEMS执行器，其特征在于：所述透明基底(1)是玻璃板或亚克力板。

9.根据权利要求1所述的基于柔性薄膜的MEMS执行器，其特征在于：所述导电片(3)上通过导电胶固定有铜丝。