[实用新型]一种芯片扫描电镜样品台

权利要求书

1.一种芯片扫描电镜样品台，其特征在于，包括安装座(1)和基板(2)，所述安装座(1)底部通过调节螺栓(3)活动安装在基板(2)上，所述基板(2)的四周分别设置有倒装的沉头螺栓(4)，所述安装座(1)上设置有多个平行的通槽(5)，所述安装座(1)与通槽(5)平行的两侧设置有贯穿的固定通孔(6)，所述通槽(5)的一侧面上设置有挡板(7)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片扫描电镜样品台，其特征在于：所述基板(2)底部设置有定位凹槽(8)。

3.根据权利要求1所述的一种芯片扫描电镜样品台，其特征在于：所述固定通孔(6)设置有四个。

4.根据权利要求3所述的一种芯片扫描电镜样品台，其特征在于：所述每个通槽(5)内设置有一个挡板(7)，所述挡板(7)设置在位于中间的两个固定通孔(6)之间。

5.根据权利要求1所述的一种芯片扫描电镜样品台，其特征在于：所述基板(2)的两侧设置有拉手(9)。

6.根据权利要求5所述的一种芯片扫描电镜样品台，其特征在于：所述拉手(9)呈半圆环形。

7.根据权利要求1所述的一种芯片扫描电镜样品台，其特征在于：所述安装座(1)的表面设置有号位(10)，每个通槽(5)的两侧平面上分别设置有两个号位(10)，两侧的号位(10)参差设置，号位(10)设置在固定通孔(6)正上方。