[实用新型]一种分选机有效

专利信息
申请号: 201721789788.4 申请日: 2017-12-20
公开(公告)号: CN207602529U 公开(公告)日: 2018-07-10
发明(设计)人: 郑权;林桂绮;邱智中;蔡吉明 申请(专利权)人: 安徽三安光电有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L33/48
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 241000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 粘合膜 滚轮 晶粒 分选 载盘 缠绕 本实用新型 分选摆臂 分选机 平面状 固晶 粘附 抓取 半导体设备 可伸缩的 组件包括 耗材
【说明书】:

本实用新型属于半导体设备领域,尤其涉及一种分选机,其至少包括放置待分选晶粒的载盘、水平可伸缩的固晶平台,设置于载盘和固晶平台之间的分选摆臂,其特征在于:还包括粘附分选后晶粒的粘合膜组件,所述粘合膜组件包括一对相互间隔一定距离的第一滚轮和第二滚轮,以及缠绕于第一滚轮和第二滚轮上的粘合膜,粘合膜在第一滚轮和第二滚轮之间呈平面状,缠绕于第一滚轮上的粘合膜未粘附晶粒,缠绕于第二滚轮上的粘合膜粘附有分选后的晶粒,分选摆臂从载盘抓取所需规格的晶粒,并转移至粘合膜组件的平面状粘合膜上完成分选。本实用新型节省耗材,降低LED分选成本。

技术领域

本实用新型属于半导体设备领域,尤其涉及一种分选晶粒的分选机。

背景技术

在LED芯粒制造过程中后道需通过分选机将同种等级芯粒自动抓取至同一Bin上,在分选过程中首先需要贴膜机对整卷蓝膜进行裁剪并粘贴于铁环上,再将贴好蓝膜放至料盒内,最后通过分选机的夹爪将蓝膜抓取至Bin平台上进行固晶,目前作业需使用贴膜机、料盒及铁环等辅助设备及治具,同时需人工手动将铁环塞至料盒,再载入自动贴膜机内进行贴膜,最后再将贴好的蓝膜移至分选机使用。

当前模式存在以下缺陷:

1、贴膜过程中,需要使用贴膜机,铁环,料盒等辅助设备,价格昂贵,且贴膜机、铁环和料盒在使用过程中容易损坏,导致耗费大量的维修费用;

2、贴膜前,需要人工塞环,浪费人力,时效低,人工塞环过程中无法避免塞错铁环或漏塞铁环情况,导致在贴膜时出现机台异常报警;

3、贴膜过程中,蓝膜耗损较大;

4、铁环在分选机夹爪移动至工作台过程中,铁环变形、料盒位置偏移或夹爪损坏等容易造成分选机报警,浪费分选机产能;

5、需要在满bin蓝膜表面覆盖离型纸,浪费离型纸等物料;

6、整体作业模式繁琐,搬运量巨大,容易造成料盒及片源掉落,进而造成LED芯粒刮伤、污染、料盒损坏等品质异常、人身安全隐患及物料损耗等。

发明内容

为解决以上问题,本实用新型提供一种分选机,至少包括放置待分选晶粒的载盘、水平可伸缩的固晶平台,设置于载盘和固晶平台之间的分选摆臂,其特征在于:还包括复数个粘附分选后晶粒的粘合膜组件,所述粘合膜组件包括一对相互间隔一定距离的第一滚轮和第二滚轮,以及缠绕于第一滚轮和第二滚轮上的粘合膜,粘合膜在第一滚轮和第二滚轮之间呈平面状,缠绕于第一滚轮上的粘合膜未粘附晶粒,缠绕于第二滚轮上的粘合膜粘附有分选后的晶粒,分选摆臂从载盘抓取所需规格的晶粒,并转移至粘合膜组件的平面状粘合膜上完成分选。

优选的,所述粘合膜组件还包括与第一滚轮和第二滚轮两侧固定连接的支架以及位于支架下端便于支架沿滑轨移动的的滑轮。

优选的,所述粘合膜组件还包括位于第一滚轮和第二滚轮之间的一对传动滚轮。

优选的,还包括放置粘合膜组件的复数个储存区以及连接储存区和固晶平台的滑轨,粘合膜组件从储存区移动至固晶平台与分选摆臂相对的一侧进行分选固晶。

优选的,所述储存区位于固晶平台的一侧或者多侧。

优选的,所述滑轨包括一条或多条,所述多条轨道包括主轨道和多条分支轨道,分支轨道位于主轨道的一侧或者两侧。

优选的,所述粘合膜组件与储存区的数量对应,每一储存区具有对应的编号。

优选的,所述多个储存区和固晶平台处均设置有感应粘合膜组件位置的感应器。

优选的,载盘包括具有一腔体的晶粒放置台,顶针模组置于腔体内,粘附于粘合膜上的复数个晶粒放置于晶粒放置台上,顶针模组刺破粘合膜并将晶粒顶出粘合膜表面。

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