[实用新型]一种硅片清洗花篮齿杆

权利要求书

1.一种硅片清洗花篮齿杆，其特征在于，包括齿杆主体（1）及均匀设置在所述齿杆主体（1）上的齿柱（2），其中所述齿柱（2）垂直于所述齿杆主体（1）长度方向的截面为椭圆形，所述齿杆主体（1）的两端部设置有连接部（3），用于连接所述齿杆主体（1）与硅片清洗花篮。

2.根据权利要求1所述的硅片清洗花篮齿杆，其特征在于，所述齿杆主体（1）的上部均匀的设置有多个凹陷部以及设置在相邻的所述凹陷部之间的凸起平台，且所述凸起平台与所述齿杆主体（1）外侧面齐平。

3.根据权利要求2所述的硅片清洗花篮齿杆，其特征在于，所述齿柱（2）包括固定设置在所述凹陷部内的下部和半椭圆形上部，且沿所述齿杆主体（1）的长度方向的截面为等腰三角形，且所述等腰三角形的底角为20-40°。

4.根据权利要求2或3所述的硅片清洗花篮齿杆，其特征在于，所述凹陷部的长度为所述齿杆主体（1）外周长的1/3-1/2。

5.根据权利要求1所述的硅片清洗花篮齿杆，其特征在于，所述连接部（3）与所述齿杆主体（1）的两端部分别为可拆卸连接。

6.根据权利要求5所述的硅片清洗花篮齿杆，其特征在于，所述连接部（3）与所述齿杆主体（1）的两端部分别为螺纹连接。

7.根据权利要求1所述的硅片清洗花篮齿杆，其特征在于，所述齿柱（2）和所述齿杆主体（1）为一体成型结构。

8.根据权利要求1所述的硅片清洗花篮齿杆，其特征在于，所述齿柱（2）等分为两组，分别均匀设置在所述齿杆主体（1）上，且两组所述齿柱（2）之间预留有空隙（4），且所述空隙（4）的长度为所述齿杆主体（1）总长度的1/10-1/9。