[实用新型]一种能延长压力传感器寿命的U型加长管

说明书

本实用新型涉及一种能延长压力传感器寿命的U型加长管，包括有反应室腔体1、U型管2、压力传感器3、直径为16毫米的卡扣连接4、刻铝设备Lam TCP9600；该装置可以在设备主体加装，方便灵活，高度随意调整，价格低廉，加工简单，可以极大的方便从而延长了压力传感器的寿命。

技术领域

本发明属于制造技术领域，适用于一种能延长压力传感器寿命的U型加长管。

背景技术

反应室腔体正常工作(10毫托左右)时充满等离子体，同时压力传感器也正常工作并与腔体连通。工艺腔反应生成物会游离生长在压力传感器内壁，由于生成物中有氯成分，容易腐蚀压力传感器内壁。由于压力传感器是电容传感，内壁腐蚀影响精度，从而影响了寿命。为了减少工艺腔反应生成物游离生长在压力传感器内壁，由于生成物中有氯成分从而减少腐蚀压力传感器内壁，使得压力传感器寿命延长。

发明内容

有鉴于此，本发明要解决的技术问题是：减少工艺腔反应生成物游离生长在压力传感器内壁，使得压力传感器寿命延长。

本发明包括反应室腔体1、U型管2、压力传感器3、直径为16毫米的卡扣连接4、刻铝设备Lam TCP9600；其中在所述刻铝设备Lam TCP9600加装所述U型管2，这样可以在刻铝工艺时导致的带氯的反应生成物多，所述U型管2后，淀积在所述压力传感器3的内壁的带氯反应生成物少了，从而延长所述压力传感器3的寿命；其中所述U型管2的宽度为8cm；高度为15cm；

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行详细的说明。应当说明的是，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明，能实现同样功能的产品属于等同替换和改进，均包含在本发明的保护范围之内。具体方法如下：

实施例1：下面我们结合具体的实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。其中包括构造、各部件间的位置和连接关系或条件、工艺过程。

Lam TCP94/96腔体与压力传感器的连接见图1。反应室腔体正常工作(10毫托左右)时充满等离子体，同时压力传感器也正常工作并与腔体连通。工艺腔反应生成物会游离生长在压力传感器内壁，由于生成物中有氯成分，容易腐蚀压力传感器内壁。

由于压力传感器是电容传感，内壁腐蚀影响精度，从而影响了寿命。

为了减少工艺腔反应生成物游离生长在压力传感器内壁，由于生成物中有氯成分从而减少腐蚀压力传感器内壁，使得压力传感器寿命延长。

附图1为加装了U型管后的简易图。加装管是U型316不锈钢管(外径12mm内径8mm)两端为直径16毫米Clamp(卡扣式)连接。U型管尺寸见图(15厘米X8厘米)较佳(对工艺没有影响)。压力传感器垂直安装。

说明：Plasma等离子体manometer压力传感器Clamp夹具

加装了U型管后，主腔压力传感器(100毫托)的使用寿命延长20％以上。

其中包括有：1.U型管。

2.压力传感器。

3.反应室腔体。

4.直径为16毫米的卡扣连接。

图中Lam TCP9600为刻铝设备。在刻铝工艺中带氯的反应生成物多，加装U型管(部件2)后，淀积在压力传感器(部件3)内壁的带氯反应生成物少了，从而延长了压力传感器的寿命。

本发明的有益效果：该装置可以在设备主体下方进行加固，方便灵活，高度随意调整，价格低廉，加工简单，可以极大的方便从而延长了压力传感器的寿命。