[实用新型]一种用于检测双层基板边缘缺陷的装置有效

专利信息
申请号: 201721779599.9 申请日: 2017-12-19
公开(公告)号: CN207779921U 公开(公告)日: 2018-08-28
发明(设计)人: 杨凯峰;杨慎东;郭连俊 申请(专利权)人: 苏州精濑光电有限公司
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95;G01N21/958
代理公司: 苏州知途知识产权代理事务所(普通合伙) 32299 代理人: 马刚强
地址: 215100 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 摄像单元 双层基板 边缘缺陷 检测 法线 图像分析检测 本实用新型 第二基板 第一基板 基板边缘 检测结果 照明单元
【权利要求书】:

1.一种用于检测双层基板边缘缺陷的装置,所述双层基板包括第一基板和与其平行设置的第二基板,其特征在于,还包括检测装置,所述检测装置设在双层基板的一侧,所述检测装置包括第一摄像单元和第二摄像单元,且所述第一摄像单元的第一中心线和第二摄像单元的第二中心线分别与基板边缘法线的平面成第一夹角和第二夹角。

2.根据权利要求1所述的用于检测双层基板边缘缺陷的装置,其特征在于,所述第一夹角与所述第二夹角相等。

3.根据权利要求1所述的用于检测双层基板边缘缺陷的装置,其特征在于,所述第一夹角与所述第二夹角为5°-10°。

4.根据权利要求2所述的用于检测双层基板边缘缺陷的装置,其特征在于,所述第一摄像单元和第二摄像单元与所述第一基板的间距均为105-115mm。

5.根据权利要求3所述的用于检测双层基板边缘缺陷的装置,其特征在于,所述第一摄像单元和第二摄像单元的焦距不同。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的用于检测双层基板边缘缺陷的装置,其特征在于,所述第一基板和第二基板之间的间距为65mm。

7.根据权利要求1所述的用于检测双层基板边缘缺陷的装置,其特征在于,所述用于检测双层基板边缘缺陷的装置还包括照明单元,所述照明单元设置于所述双层基板边缘的另一侧,为所述检测装置提供照明。

8.根据权利要求7所述的用于检测双层基板边缘缺陷的装置,其特征在于,所述用于检测双层基板边缘缺陷的装置还包括支撑座,所述检测装置架设于所述支撑座上,所述照明单元设置在所述支撑座的基座平台上。

9.根据权利要求8所述的用于检测双层基板边缘缺陷的装置,其特征在于,所述支撑座还包括位于顶部的用于安装第一摄像单元和第二摄像单元的顶部安装板,以及位于所述基座平台与顶部安装板之间的两块分别用于固定第一基板与第二基板的固定板,两块固定板的宽度短于基座平台和顶部安装板,使得第一基板与第二基板能够从一侧伸出。

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