[实用新型]一种高压发生器

说明书

本实用新型公开了一种高压发生器，包括：预增压电路，包括：串联的第一储能电容器和第二储能电容器；第一二极管，其正极与单相交流电源的第一端连接，负极与第一储能电容器的正极连接；第二二极管，其正极与第二储能电容器的负极连接，负极与单相交流电源的第一端连接；单相交流电源的第二端连接在第一储能电容器和第二储能电容器之间；逆变电路，用于将第一储能电容器和第二储能电容器的电压转换为交变电压；变压器，其原边与逆变电路的输出侧连接。本实用新型通过预充电电路对串联的储能电容分别充电，串联的储能电容电压远远大于现有整流电路的输出电压，使得升压变压器副边绕组的匝数较少，从而能够减小高压发生器的体积。

技术领域

本实用新型涉及高压设备技术领域，具体涉及一种高压发生器。

背景技术

高压发生器(英文：High voltage power supply)又叫高压电源，用于提供高电压供其他设备使用，例如X光机高压电源、激光高压电源、光谱分析高压电源、无损探伤高压电源、半导体制造设备高压电源、毛细管电泳高压电源、无损检测高压电源、半导体技术中的粒子注入高压电源、物理汽相沉积高压电源(PVD)、纳米光刻高压电源等。

现有高压发生器往往先将工频电源电压整流得到直流电压，然后将直流电压逆变成稳定的交流电输入升压变压器，通过升压变压器的输出端输出高电压。

然而，由于整流电路器件限制，整流得到的直流电压值往往低于工频电源电压的幅值，若要将其升高至较高的电压等级，则要求升压变压器副边绕组的匝数较多，从而使得高压发生器的体积较大。

发明内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种高压发生器，包括：预增压电路，包括：第一储能电容器和第二储能电容器，所述第一储能电容器的负极与所述第二储能电容器的正极连接；第一二极管，其正极与单相交流电源的第一端连接，负极与所述第一储能电容器的正极连接；第二二极管，其正极与所述第二储能电容器的负极连接，负极与所述单相交流电源的第一端连接；所述单相交流电源的第二端连接在所述第一储能电容器和所述第二储能电容器之间；逆变电路，其输入侧一端连接所述第一储能电容器的正极，输入侧另一端连接在所述第二储能电容器的负极；所述逆变电路用于将所述第一储能电容器和所述第二储能电容器的电压转换为交变电压；变压器，其原边与所述逆变电路的输出侧连接。

可选地，所述单相交流电源的第一端与所述第一二极管、所述第二二极管之间还连接有并联支路；所述并联支路包括：第一支路，包括串联的第一可控开关、第一电阻；至少一个第二支路，包括串联的第二可控开关、第二电阻。

可选地，所述单相交流电源的第二端与所述第一储能电容器、所述第二储能电容器之间还连接有第三可控开关。

可选地，所述第一储能电容器和/或所述第二储能电容器包括多个并联的子电容。

可选地，所述逆变电路包括：第四可控开关和第五可控开关，所述第四可控开关的第二端与所述第五可控开关的第一端连接；第六可控开关和第七可控开关，所述第六可控开关的第二端与所述第七可控开关的第一端连接；所述第四可控开关的第一端与所述第六可控开关的第一端连接，所述第五可控开关的第二端和所述第七可控开关的第二端连接；所述第四可控开关的第二端、所述第六可控开关的第二端分别作为所述逆变电路输出侧的第一端、第二端；控制器，其多个输出端分别与所述第四可控开关、所述第五可控开关、所述第六可控开关、所述第七可控开关的控制端连接。

可选地，所述高压发生器还包括：谐振电路，其一侧与所述逆变电路的输出侧连接，另一侧与所述变压器的原边连接。

可选地，所述谐振电路包括：第一电感、第一电容和第二电容；所述第一电感和所述第二电容串联后与所述变压器的原边线圈串联；所述第二电容与所述变压器的原边线圈并联。

可选地，所述谐振电路包括：第一电感、第二电感和第一电容；所述第一电感和所述第二电感串联后与所述变压器的原边线圈串联；所述第一电容与所述变压器的原边线圈并联。