[实用新型]一种超快激光气膜孔高效加工装置

权利要求书

1.一种超快激光气膜孔高效加工装置，其特征在于：包括光束扫描制孔系统，所述光束扫描制孔系统包括沿激光光路依次设置的激光器(15)、三维扫描装置(13)聚焦镜(12)以及工作台(30)，所述工作台用于将待加工零件倒置固定在激光光路上方，激光器(15)的光束经过三维扫描装置(13)及聚焦镜(12)后竖直向上传输，对准待加工零件的加工部位；

还包括排渣系统，所述排渣系统包括吹吸气一体式喷嘴(5)及n个真空发生器(2)，其中n为大于等于1的整数；

所述吹吸气一体式喷嘴(5)包括负压喷嘴及正压喷嘴，所述负压喷嘴位于待加工部位孔口的周围，所述正压喷嘴位于激光光路的中路中；

所述负压喷嘴位通过负压输气管道(4)及过滤器(3)与真空发生器(2)的吸气口连接，所述正压喷嘴通过正压输气管道(17)及电磁调节阀与真空发生器(2)的排气口连通。

2.根据权利要求1所述的超快激光气膜孔高效加工装置，其特征在于：所述正压喷嘴、负压喷嘴均与聚焦光束(11)同轴设置；

所述正压喷嘴为中空类圆锥状结构，锥底设置在聚焦镜(12)的上方，锥部具有开口位于负压喷嘴内部；

所述负压喷嘴为中空类圆锥状结构，锥部具有开口位于待加工部位孔口的周围。

3.根据权利要求2所述的超快激光气膜孔高效加工装置，其特征在于：负压输气管道(4)与负压喷嘴的锥底连通；正压输气管道(17)与正压喷嘴的锥底连通。

4.根据权利要求3所述的超快激光气膜孔高效加工装置，其特征在于：还包括位于激光器(15)与三维扫描装置(13)之间的光束调制模块(14)。

5.根据权利要求4所述的超快激光气膜孔高效加工装置，其特征在于：负压喷嘴处负压域负压保持在-0.75--0.85MPa，正压喷嘴处正压域在0.1MPa-0.8MPa之间可调。