[实用新型]蒸镀坩埚和蒸镀装置有效
| 申请号： | 201721763649.4 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN207596945U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 孙力 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 连接面 蒸镀 坩埚埚体 坩埚盖 隔垫 坩埚 本实用新型 蒸镀装置 适配 温差 隔离 | ||
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：
坩埚埚体，具有环形的第一连接面；
坩埚盖体，具有环形的第二连接面；
隔垫环，设置为与所述第一连接面以及所述第二连接面相适配的环形，所述隔垫环位于所述第一连接面与所述第二连接面之间。
2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述隔垫环的与所述第一连接面接触的一面设置有至少一个孔洞。
3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述孔洞为连通所述坩埚埚体与所述坩埚盖体的通孔。
4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述通孔的与所述第一连接面平行的截面的形状为多边形、圆形中的一种或多种。
5.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述孔洞为第一盲孔。
6.根据权利要求5所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述隔垫环的与所述第二连接面接触的一面设置有至少一个第二盲孔。
7.根据权利要求6所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一盲孔的与所述第一连接面平行的截面的形状为多边形、圆形中的一种或多种；所述第二盲孔的与所述第二连接面平行的截面的形状为多边形、圆形中的一种或多种。
8.根据权利要求6所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一盲孔和所述第二盲孔中至少一个设置为与所述隔垫环相适应的环状。
9.根据权利要求1～8任意一项所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述隔垫环的与所述第一连接面接触的部分设置为平面，以及所述隔垫环的与所述第二连接面接触的部分设置为平面。
10.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
权利要求1～9任意一项所述的蒸镀坩埚。
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