[实用新型]一种还原炉启炉前打压检测装置有效

专利信息
申请号: 201721747591.4 申请日: 2017-12-14
公开(公告)号: CN207675880U 公开(公告)日: 2018-07-31
发明(设计)人: 冯谨;杨刊;张培 申请(专利权)人: 河北东明中硅科技有限公司
主分类号: G01R31/18 分类号: G01R31/18;G01R1/04
代理公司: 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 代理人: 贾凯
地址: 052360 河北省石*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 绝缘支撑杆 金属片 启炉 通孔 绝缘壳体底壁 本实用新型 可调变压器 测试夹具 打压检测 高电压 还原炉 打压 绝缘壳体侧壁 可拆卸连接 输出端连接 顶部设置 复位弹簧 滑动设置 检测电极 绝缘壳体 绝缘性能 上端开口 纵向槽口 限位块 小功率 电极 放电 上套 停炉 位块 绝缘 变压器 成功率 穿过 检查 生产
【说明书】:

实用新型公开了一种还原炉启炉前打压检测装置,包括测试夹具和可调变压器,测试夹具包括上端开口的绝缘壳体,绝缘壳体底壁上设置有通孔,通孔内滑动设置有绝缘支撑杆,绝缘支撑杆顶部设置有金属片,金属片两侧连接有导线,绝缘壳体侧壁上设置纵向槽口,金属片两侧导线分别与可调变压器高压侧输出端连接,绝缘支撑杆上套设有复位弹簧,绝缘支撑杆穿过通孔后设置有限位块,限位块与绝缘壳体底壁之间可拆卸连接有U型卡环。本实用新型采用小功率、高电压来检测电极绝缘性能,可快速排除检查出绝缘不合格的电极,可避免大功率高电压的打压变压器放电对生产和设备的影响;明显提高启炉的成功率,减少因打压导致故障的非正常停炉。

技术领域

本实用新型涉及一种打压检测装置,尤其涉及一种还原炉启炉前打压检测装置。

背景技术

多晶硅生产过程中还原炉的启炉都是用10KV的高压将硅芯击穿。电极与还原炉底盘的连接形式见图1,电极12与还原炉底盘15为304材质,其绝缘靠绝缘支撑件16来保证;上部靠石英座13和石英套筒14来增加电极12与还原炉底盘的15绝缘距离,防止出现电流爬弧击穿;底部靠垫片18和绝缘套17来增加电极12与还原炉底盘15的绝缘距离,防止出现电流爬弧击穿。如果有的绝缘配件没有检查到位,比如石英座13和石英套筒14碎裂没有发现,或者绝缘配件之间的间隙中有无定形硅,或者石英套筒14底部和电极12相连的凹槽中存在无定形硅(无定形硅是多晶硅生产过程中不可避免的产出物),都会形成电极12与还原炉底盘15在上部形成爬弧击穿放电。放电产生的后果:1)会引起电极和硅芯震动,使硅芯在打压过程中断裂,更换硅芯会使启炉的正常时间往后拖15-20小时;2)放电会使打压变压器的高压侧产生较大的电压波动,它会影响同线路上其他的正常生产的还原炉,使其他还原炉非正常停炉;3)严重的会击穿烧熔电极和还原炉底盘。所以还原炉启炉前的打压检查是多晶硅生产过程中一个非常重要的工艺。还原炉大约每5天需要拆装一次,在拆装过程中需要检查更换绝缘配件(每炉48套),所以工作量极大,工作效率亟待提高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对上述现有技术的不足,提供一种还原炉启炉前打压检测装置,能够快速、安全的测试出电极绝缘耐压是否合格。

为解决上述问题,本实用新型所采取的技术方案是:

一种还原炉启炉前打压检测装置,包括测试夹具和可调变压器,所述测试夹具包括绝缘壳体,所述绝缘壳体上端开口下端封闭,所述绝缘壳体内设置有供电极插入的空腔,所述绝缘壳体底壁上设置有通孔,所述通孔内滑动设置有绝缘支撑杆,所述绝缘支撑杆顶部设置有金属片,所述金属片两侧连接有导线,所述绝缘壳体侧壁上设置有供所述导线穿过且上下滑动的纵向槽口,所述金属片两侧导线分别与所述可调变压器高压侧输出端连接,所述绝缘支撑杆上套设有复位弹簧,所述绝缘支撑杆底部穿过所述通孔后设置有限位块,所述限位块与所述绝缘壳体底壁之间可拆卸连接有U型卡环。

进一步的,所述测试夹具有8个,8个所述测试夹具由所述金属片两侧的导线依次串联连接,8个所述测试夹具串联后,两端的导线分别与所述可调变压器高压侧输出端连接。

进一步的,所述绝缘壳体的空腔与电极一端大小相适配。

进一步的,所述可调变压器低压侧与电源连接。

进一步的,所述复位弹簧与所述限位块为绝缘材质。

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