[实用新型]一种带防液滴喷溅格栅的热蒸发装置有效
| 申请号： | 201721736330.2 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN208136329U | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 张撷秋;刘壮;杨世航;钟国华;黄俏俏;崔骏;李霖 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人： | 范盈 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 格栅 喷管 蒸发材料 液滴 坩埚 热蒸发装置 支撑框架 坩埚内壁 防液滴 阻挡 厚度均匀性 热蒸发镀膜 顶端端口 镀膜表面 镀膜材料 镀膜工艺 紧密贴合 倾斜挡板 有效减少 良品率 外壁 加热 相通 容纳 | ||
【权利要求书】：
1.一种带防液滴喷溅格栅的热蒸发装置，其特征在于：
包括：
蒸发材料；
坩埚，所述坩埚容纳待加热的所述蒸发材料；
喷管，所述喷管与坩埚的顶端端口相通；
格栅，所述格栅放置在坩埚内壁，且位于蒸发材料上方，所述格栅具有阻挡喷溅液滴直线运动至喷管的倾斜挡板。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述格栅还包括：
支撑框架，所述支撑框架的外壁与所述坩埚内壁紧密贴合接触且形状相同。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于：一层的所述倾斜挡板平行设置且为多个，且每个所述的倾斜挡板的两端支撑在所述支撑框架上。
4.如权利要求2所述的装置，其特征在于：所述支撑框架外壁的水平横截面为椭圆形或四边形。
5.如权利要求2所述的装置，其特征在于：所述支撑框架外壁的水平横截面为圆形。
6.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述格栅采用烧结、机械加工或增材制造。
7.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述格栅材料为铜、金、银、钽、钼、钨、石墨、石英、氧化铝、碳纤维、氮化硼或碳化硅。
8.如权利要求1至7任一项所述的装置，其特征在于：所述倾斜挡板具有一层或多层。
9.如权利要求8所述的装置，其特征在于：同一层的所述倾斜挡板间距和倾斜角度相同。
10.如权利要求1至7任一项所述的装置，其特征在于：所述格栅具有两个，且上下相邻对称放置。
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