[实用新型]诊断系统和影响工艺生产设备的工艺介质流动的调节装置

权利要求书

1.一种诊断系统，该诊断系统控制用于影响工艺生产设备的工艺介质流动的调节装置的功能作用，其特征是，设有配属于所述调节装置的光学麦克风(51)，该光学麦克风借助受到调节装置专属声音运行信号影响的电磁射线来测量调节装置专属声音运行信号，其中所述光学麦克风(51)产生与调节装置专属声音运行信号相关的电测量信号，并且还设有电子诊断装置(55)，该电子诊断装置接收、存储、处理和/或转送所述电测量信号。

2.根据权利要求1所述的诊断系统，其特征是，所述光学麦克风(51)是无薄膜设计的和/或被设计用于以光学方式通过测量在调节装置专属声音运行信号的声波行程中的空气折射率变化来测量声压。

3.根据权利要求1或2所述的诊断系统，其特征是，所述光学麦克风(51)安置在被工艺介质流过的调节装置壳体内。

4.根据权利要求1所述的诊断系统，其特征是，所述光学麦克风(51)通过至少两个光学麦克风单元的组件构成，用于借助各自由所述麦克风单元产生的测量信号立体分辨调节装置专属声音运行信号的声场。

5.根据权利要求1所述的诊断系统，其特征是，设有用于使所述光学麦克风(51)的至少一部分相对于在所述调节装置上的位置限定的声场运动的调整装置。

6.根据权利要求1所述的诊断系统，其特征是，该诊断系统还包括压电结构声传感器或带有膜的声音传感器。

7.根据权利要求1所述的诊断系统，其特征是，所述光学麦克风(51)包括光源(63)以及测量头(71)，它们通过光波导如此耦合，即所述光源(63)和测量头(71)能相对运动。

8.根据权利要求1所述的诊断系统，其特征是，所述调节装置专属声音运行信号是泄漏声、空化声。

9.根据权利要求3所述的诊断系统，其特征是，所述光学麦克风(51)安置在调节阀壳体(7)内。

10.根据权利要求3所述的诊断系统，其特征是，所述光学麦克风(51)对准调节阀的阀关闭件(23)、阀座(21)、阀件笼和/或阀杆，和/或所述光学麦克风安置在所述工艺生产设备的引导工艺介质的管路(15,17)中。

11.根据权利要求3所述的诊断系统，其特征是，所述光学麦克风(51)指向所述调节装置壳体的内部，和/或所述光学麦克风(51)安置在所述调节装置的气压调节驱动系统的气压管路中。

12.根据权利要求3所述的诊断系统，其特征是，所述光学麦克风(51)对准所述调节装置的尤其是位置调整器(37)的电磁阀，和/或所述光学麦克风(51)安置在所述调节装置的气压调节驱动装置(5)的气压工作腔(31)中。

13.根据权利要求12所述的诊断系统，其特征是，所述光学麦克风(51)对准所述气压调节驱动装置(5)的膜(27)或囊。

14.根据权利要求4所述的诊断系统，其特征是，所述光学麦克风(51)由正好两个或三个光学麦克风单元的组件构成，用于借助各自由所述麦克风单元产生的测量信号立体分辨调节装置专属声音运行信号的声场。

15.根据权利要求4所述的诊断系统，其特征是，所述至少两个光学麦克风单元的组件能与所述诊断装置(55)以适合信号传输的方式相连，所述诊断装置如此执行声场的立体分辨，即它定位尤其是泄漏或空化的声源和/或确定音速。

16.根据权利要求7所述的诊断系统，其特征是，所述光源(63)是激光二极管。