[实用新型]一种晶圆检测装置

说明书

一种晶圆检测装置，其属于半导体加工领域的技术，包括：卡盘，所述卡盘设置于所述晶圆下部支撑外环和支撑内环，所述支撑外环和所述支撑内环同心设置且设置于所述卡盘下部，所述支撑外环与所述支撑内环之间通过沿所述支撑外环径向设置的连接杆相连；位置传感器，所述位置传感器设置于所述连接杆的下方，且位于所述支撑外环和所述支撑内环之间。该技术方案的有益效果是：本装置结构简单且可靠，能够精确的侦测湿法刻蚀设备上的晶圆，减少了晶圆的损毁的风险，从而能够保证产品的质量，提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及的是一种半导体加工领域的技术，具体是一种晶圆检测装置。

背景技术

在单片型湿法刻蚀设备上晶圆是在卡盘上进行湿法刻蚀，每一片晶圆放置于卡盘之后，系统会自动侦测晶圆是否在卡盘上，之后才会进行下一步的湿法刻蚀工艺。

系统通过卡盘中心处的设置的传感器来侦测晶圆，卡盘中心处的封盖为透明的PVC材质，封盖无法与卡盘相融合。

通常是把封盖简单的用粘胶粘合在卡盘中心的背面，而这会导致封盖非常容易发生掉落。当卡盘中心的封盖掉落时，就会导致下方的氮气大量的吹出，严重时导致晶圆破损或报废。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术存在的上述不足，提出一种晶圆检测装置。本装置结构简单且可靠，能够精确的侦测湿法刻蚀设备上的晶圆，减少了晶圆的损毁的风险，从而能够保证产品的质量，提高生产效率。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型涉及一种晶圆检测装置，包括：

卡盘，所述卡盘位于所述晶圆下方；

支撑外环和支撑内环，所述支撑外环和所述支撑内环同心设置，所述支撑外环与所述支撑内环之间通过沿所述支撑外环径向设置的连接杆相连；

位置传感器，所述位置传感器设置于所述连接杆的下方，且位于所述支撑外环和所述支撑内环之间。

优选的，该晶圆检测装置，其中，所述支撑外环和所述支撑内环之间设有沿所述支撑内环周向设置的弹性元件，所述弹性元件一端与所述连接杆相连。

优选的，该晶圆检测装置，其中，所述弹性元件为回复弹簧。

优选的，该晶圆检测装置，其中，所述连接杆包括第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆、第四连接杆、第五连接杆以及第六连接杆，所述第一连接杆、所述第二连接杆、所述第三连接杆、所述第四连接杆、所述第五连接杆以及所述第六连接杆沿所述支撑外环周向均匀分布。

优选的，该晶圆检测装置，其中，所述第一连接杆、所述第三连接杆、所述第四连接杆以及所述第六连接杆均连有所述回复弹簧。

优选的，该晶圆检测装置，其中，所述支撑外环的外周面设有轮齿。

优选的，该晶圆检测装置，其中，所述位置传感器为红外传感器。

优选的，该晶圆检测装置，其中，所述位置传感器为电感传感器。

本实用新型涉及一种湿法刻蚀设备，其特征在于，所述湿法刻蚀设备顶部设有所述晶圆检测装置。

上述技术方案的有益效果是：本装置结构简单且可靠，能够精确的侦测湿法刻蚀设备上的晶圆，减少了晶圆的损毁的风险，从而能够保证产品的质量，提高生产效率。

附图说明

图1为本实用新型的较佳的实施例中，一种晶圆检测装置结构示意图；

图中：1支撑外环、2支撑内环、3位置传感器、4回复弹簧、5第一连接杆、6第二连接杆、7第三连接杆、8第四连接杆、9第五连接杆、10第六连接杆。

具体实施方式