[实用新型]一种高硬度滤光片结构有效
| 申请号： | 201721719625.9 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN207488531U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 王红 | 申请（专利权）人： | 苏州文迪光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B1/115 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 刘计成 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 滤光片 增透膜层 滤光片结构 高硬度 膜系层 金刚石晶体膜 膜层 本实用新型 不易潮解 光电产品 交替设置 耐酸碱性 重新分配 反射光 上表面 透光性 透射光 | ||
【权利要求书】：
1.一种高硬度滤光片结构，包括滤光片本体，所述滤光片本体的横截面为梯形，所述滤光片本体的一个斜面上镀有膜系层，其特征在于：所述膜系层与所述滤光片本体之间还设有增透膜层，所述增透膜层包括至少一层MgF2膜层和至少一层SiO2膜层，所述SiO2膜层与所述MgF2膜层交替设置，所述膜系层的上表面还设有一层金刚石晶体膜层。
2.根据权利要求1所述的一种高硬度滤光片结构，其特征在于：所述膜系层为LHLHL结构，其中H表示TiO2层、L层为SiO2层。
3.根据权利要求2所述的一种高硬度滤光片结构，其特征在于：所述膜系层各层厚度依次为22nm、34nm、56nm、84nm、112nm。
4.根据权利要求1所述的一种高硬度滤光片结构，其特征在于：所述增透膜层包括两层MgF2膜层和一层SiO2膜层，所述SiO2膜层位于两层MgF2膜层之间。
5.根据权利要求4所述的一种高硬度滤光片结构，其特征在于：所述增透膜层的第一层MgF2膜层厚度为32nm，SiO2膜层厚度为73nm，第二层MgF2膜层厚度为79nm。
6.根据权利要求1所述的一种高硬度滤光片结构，其特征在于：所述金刚石晶体膜层的厚度为80nm。
7.根据权利要求1至6任意一项权利要求所述的一种高硬度滤光片结构，其特征在于：所述滤光片本体的横截面为等腰梯形。
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