[实用新型]一种石英晶片工装架超声波自动清洗机

权利要求书

1.一种石英晶片工装架超声波自动清洗机，其特征在于：所述石英晶片工装架超声波自动清洗机包括清洗机本体（1）、设置在所述清洗机本体（1）内的若干个清洗槽、工装架升降装置（2）、工装架平移装置（3）、超声波发生器（4）与控制装置（5），所述若干个清洗槽并列设置在所述清洗机本体（1）上，所述工装架升降装置（2）设置在所述清洗机本体（1）上，所述工装架升降装置（2）与所述若干个清洗槽保持垂直，所述工装架平移装置（3）设置在所述若干个清洗槽上部，所述超声波发生器（4）设置在所述若干个清洗槽的一侧，所述超声波发生器（4）均与所述若干个清洗槽相连。

2.根据权利要求1所述的一种石英晶片工装架超声波自动清洗机，其特征在于：所述清洗机本体（1）的两端设置有进料口和出料口，所述进料口和所述出料口内均设置有升降气缸和托盘，所述升降气缸设置在所述托盘的底部。

3.根据权利要求1所述的一种石英晶片工装架超声波自动清洗机，其特征在于：所述若干个清洗槽包括纯水清洗槽和药水清洗槽，所述纯水清洗槽和所述药水清洗槽的内侧壁均设置有温度检测装置，所述纯水清洗槽和所述药水清洗槽底部均设置有超声波发生板，所述超声波发生板和所述超声波发生器（4）相连接，所述纯水清洗槽和所述药水清洗槽的深度均为450mm-500mm。

4.根据权利要求1所述的一种石英晶片工装架超声波自动清洗机，其特征在于：所述工装架升降装置（2）包括升降机架（6）、传动螺杆（7）以及驱动电机，所述升降机架（6）靠近所述若干个清洗槽的一侧设置有工装架承载部（8），所述工装架承载部（8）为L型，所述工装架承载部（8）的垂直面为连接杆，所述连接杆用于固定连接所述工装架承载部（8）和所述升降机架（6），所述工装架承载部（8）的水平面为工装架承载板，所述工装架承载板的尺寸与工装架相适配。

5.根据权利要求1所述的一种石英晶片工装架超声波自动清洗机，其特征在于：所述工装架平移装置（3）设置在所述若干个清洗槽的上部，所述工装架平移装置（3）包括滑动设置在所述清洗机本体（1）上的底座（9）以及与所述底座（9）相连接的驱动气缸，所述底座（9）和所述驱动气缸的活塞杆固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种石英晶片工装架超声波自动清洗机，其特征在于：所述底座（9）上设置有滑轨（10）和设置在所述滑轨（10）上的若干个独立的工装架夹取装置（11），所述工装架夹取装置（11）包括工装架承载支架，所述工装架承载支架滑动设置在所述滑轨（10）上，所述工装架承载支架端部的所述清洗机本体（1）上还设置有转动装置，所述转动装置与所述工装架承载支架固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种石英晶片工装架超声波自动清洗机，其特征在于：所述控制装置（5）分别和所述工装架升降装置（2）、所述工装架平移装置（3）以及所述超声波发生器（4）电连接。