[实用新型]一种中红外激光光束狭缝扫描装置有效
| 申请号: | 201721712241.4 | 申请日: | 2017-12-11 |
| 公开(公告)号: | CN207472422U | 公开(公告)日: | 2018-06-08 |
| 发明(设计)人: | 陈付志;吕新杰 | 申请(专利权)人: | 南京先进激光技术研究院 |
| 主分类号: | G01J1/04 | 分类号: | G01J1/04 |
| 代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 陆薇薇 |
| 地址: | 210038 江苏省南京市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 转筒 测量组件 狭缝 底板 本实用新型 中红外激光 激光光束 狭缝扫描 编码器 功率计 通光孔 套筒 正交 测量 微型电机带动 光功率数据 光斑 成对设置 二维扫描 灵敏测量 软件处理 微型电机 位置数据 一端设置 等宽 成对的 光谱 筒壁 维度 转动 照射 覆盖 分析 | ||
1.一种中红外激光光束狭缝扫描装置,包括内部测量组件(1)和外壳,其特征在于,所述外壳包括套筒(2),所述套筒(2)一端安装有所述内部测量组件(1),另一端设置有与所述内部测量组件(1)相对的通光孔(21);所述内部测量组件(1)包括底板(11)和安装于所述底板(11)上的功率计(12)、转筒(14)、微型电机(15)和编码器(17),其中:
所述转筒(14)位于自所述通光孔(21)入射的待测激光光路中;所述转筒(14)筒壁上开有成对的狭缝,成对的两条狭缝等宽且相互正交;
所述功率计(12)设置于穿过所述狭缝后的待测激光光路中;
所述微型电机(15)连接所述转筒(14),带动所述转筒(14)绕其中心转轴转动;
所述编码器(17)检测所述转筒(14)的转动并对转动位置进行编码。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述转筒(14)筒壁与所述中心转轴平行,所述狭缝与所述中心转轴均成45°角。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,在所述转筒(14)筒壁上开有若干组成对的狭缝,各组狭缝具有不同的宽度。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述微型电机(15)为步进电机,其转动轴通过联轴器(16)与所述转筒(14)的所述中心转轴连接。
5.根据权利要求1至4任一项所述的装置,其特征在于,所述外壳还包括准直判别器;在所述通光孔(21)处设置有连接部(22),所述准直判别器通过所述连接部(22)连接所述套筒(2),所述准直判别器的光路对准所述通光孔(21)。
6.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,所述准直判别器为可变光阑组件(3),所述可变光阑组件(3)包括光阑夹具(31)及安装在所述光阑夹具(31)中的第一可变光阑(32)和第二可变光阑(33),所述可变光阑组件(3)与所述套筒(2)连接时,所述第一可变光阑(32)和第二可变光阑(33)的通光孔中心的连线对准所述通光孔(21)。
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