[实用新型]一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置

说明书

本实用新型公开一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括：分子泵、离子泵、真空室，本实用新型通过提前对真空室内抽真空，当电子加速器内的真空度不足时，打开第三真空阀使得真空室和电子加速器形成一个腔室，刚打开第三真空阀时真空室和电子加速器两者之间存在真空度差，电子加速器内的气体会进入真空室进而提升电子加速器的真空度。

技术领域

本实用新型涉及一种真空抽气装置，特别涉及一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置。

背景技术

辐照加工系统是一种利用高能电子束对物品进行辐照消毒、杀虫、灭菌、保鲜处理、材料改性或者降解的加工，使物品中的有害、细菌、微生物受损致死或不育，是有机物的材料改性或者降解。通过对不同货物的辐照处理，保证食品的安全和延长食品的保鲜期，杀灭医疗卫生用品、化妆品等货物中的细菌。随着辐照系统在各行各业的应用，对辐照系统也提出了越来越高的要求，辐照系统的加速器是辐照质量的关键，而加速器的真空度决定了加速器工作质量，现有加速器在工作一段时间后真空度达不到要求会直接降低了辐照的质量，需要停机重新抽真空浪费时间降低了工作效率。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术的不足，提供一种可快速重新抽真空的装置。

本实用新型通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括：分子泵、离子泵、真空室，所述真空室两侧通过管道分别连接第二真空阀和第三真空阀，其中第三真空阀与三通连接；所述第二真空阀前端设有四通；所述四通其中两个接口分别通过管道连接分子泵和离子泵，其中分子泵设有前级泵；所述四通的剩余一个接口通过管道与第一真空阀连接，其中第一真空阀通过管道与三通连接；所述三通的另一个接口通过管道与电子加速器连接。本实用新型通过提前对真空室内抽真空，当电子加速器内的真空度不足时，打开第三真空阀使得真空室和电子加速器形成一个腔室，刚打开第三真空阀时真空室和电子加速器两者之间存在真空度差，电子加速器内的气体会进入真空室进而提升电子加速器的真空度。

本实用新型进一步优化在于：所述真空室设有真空表，用于观察真空室内的真空度。

本实用新型进一步优化在于：所述真空室内部竖直设有滤油网，分子泵在工作时会产生油蒸汽，滤油网会使电子加速器的环境更加清洁。

本实用新型进一步优化在于：所述真空室底部设有排污口，用于排出腔室内的油污。

本实用新型进一步优化在于：所述离子泵为三极溅射离子泵。

本实用新型进一步优化在于：真空室的容积大于电子加速器的体积，真空室的容积越大，用于提升电子加速器的次数越多。

通过上述技术方案实现可快速重新抽真空的要求，相比于现有技术方案本实用新型还提升了电子加速器内的环境，对辐照质量具有提升作用等优点。

附图说明

图1为一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置的结构示意图；

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括分子泵、离子泵14、真空室1，所述真空室1两侧通过管道分别连接第二真空阀7和第三真空阀8，其中第三真空阀8与三通4连接；所述第二真空阀7前端设有四通5；所述四通5其中两个接口分别通过管道2连接分子泵9和离子泵14，其中分子泵9设有前级泵10；所述四通5的剩余一个接口通过管道2与第一真空阀6连接，其中第一真空阀6通过管道2与三通4连接；所述三通4的另一个接口通过管道2与电子加速器3连接。