[实用新型]放电激励式气体激光腔室及激光器有效
| 申请号： | 201721689122.1 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN207743552U | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 都丸仁;奈良久;松永隆;西坂敏博 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/03 | 分类号： | H01S3/03;H01S3/038 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 陶海萍;田勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容器 放电电极 调峰 气体激光 放电 腔室 激光器 电容 本实用新型 不均匀 电连接 位置处 激光 输出 | ||
【权利要求书】：
1.一种放电激励式气体激光腔室，其特征在于，所述放电激励式气体激光腔室包括：
多个调峰电容器，其中所述多个调峰电容器中任意两个调峰电容器之间的电容差在预定电容值的20％以下；
第一放电电极，其与所述多个调峰电容器电连接；以及
第二放电电极，其被设置在与所述第一放电电极相对的位置处。
2.根据权利要求1所述的放电激励式气体激光腔室，其中，所述多个调峰电容器中任意两个调峰电容器之间的电容差在所述预定电容值的10％以下。
3.根据权利要求1所述的放电激励式气体激光腔室，其中，所述多个调峰电容器的电容值为100pF～250pF。
4.根据权利要求1所述的放电激励式气体激光腔室，其中，所述多个调峰电容器的数量为24～42个。
5.根据权利要求1所述的放电激励式气体激光腔室，其中，所述多个调峰电容器的数量为36～40个。
6.根据权利要求1所述的放电激励式气体激光腔室，其中，所述多个调峰电容器按照等间隔的方式被配置。
7.一种放电激励式气体激光器，其具有激光腔室和电源，其特征在于，所述激光腔室包括：
多个调峰电容器，其与所述电源电连接；其中所述多个调峰电容器中任意两个调峰电容器之间的电容差在预定电容值的20％以下；
第一放电电极，其与所述多个调峰电容器电连接；以及
第二放电电极，其被设置在与所述第一放电电极相对的位置处。
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